第一章 声表面波传感器概论 1
一、引言 1
二、声表面波技术基础 3
三、声表面波传感器理论基础 27
第二章 声表面波谐振式压力传感器 37
一、压力的基本定义及各种单位 37
二、声表面波谐振式压力传感器的组成及工作机理 38
三、声表面波谐振式压力传感器敏感元件的理论设计 45
四、声表面波谐振式压力传感器敏感元件的有限元设计 65
五、声表面波谐振式压力传感器信号检测电路的设计 130
六、声表面波谐振式压力传感器的误差分析 140
第三章 声表面波加速度传感器 149
一、概述 149
二、声表面波加速度传感器的工作机理 150
三、声表面波加速度传感器的结构形式 154
四、声表面波加速度传感器误差分析 156
五、声表面波加速度传感器的测试 159
第四章 声表面波流量传感器 165
一、概述 165
二、声表面波流量传感器的工作机理 165
三、声表面波流量传感器的理论分析 166
四、声表面波流量传感器的动态响应 168
第五章 声表面波气体传感器 171
一、概述 171
二、声表面波气体传感器的工作机理 172
三、敏感薄膜与传感器特性之间的关系 175
第六章 声表面波角速度传感器 177
一、概述 177
二、声表面波中陀螺效应的理论推导 178
三、声表面波中陀螺效应的大小及方向的分析 187
四、声表面波中陀螺效应产生原因的定性分析 192
一、利用差动结构进行温度补偿 195
第七章 声表面波传感器温度补偿方法的研究 195
二、利用频率测量时计数门时间与温度有关进行温度补偿 197
三、利用单片机实现温度补偿 200
第八章 浮动零点法及其在声表面波传感器中的应用 203
一、概述 203
二、差动原理 203
三、浮动坐标原理 205
四、浮动零点法 207
五、结论 209
参考文献 211