第一章 前言 1
第二章 原理 5
2.1 X射线显微分析仪的基本特点与结构 5
2.1.1 X射线显微分析仪的特点 5
2.1.2 X射线显微分析仪的基本结构 13
2.2 电子与物质的相互作用 14
2.2.1 电子与物质相互作用的梗概 15
2.2.2 X射线的产生与X射线的特性 19
2.2.3 各种电子及其信息 27
2.2.4 信息源的大小 33
2.2.5 电子束照射点的温度上升 37
2.3 X射线的色散 38
2.3.1 波长色散法 39
2.3.2 能量色散法 41
第三章 仪器 43
3.1 电子光学系统 43
3.1.1 电子枪 43
3.1.2 电子透镜 47
3.1.3 消像散装置 50
3.2 光学观察系统 54
3.3 样品室 55
3.4 X射线分光谱仪系统 56
3.4.1 X射线分光谱仪的构造 56
3.4.2 分光晶体 57
3.4.3 探测器 61
3.4.4 X射线分光谱仪的性能 63
3.4.5 软X射线色散中的注意事项 66
3.4.6 X射线的测量装置 68
3.5 电子束扫描系统 70
3.5.1 二次电子像 71
3.5.2 背散射电子像 74
3.5.3 吸收电子像 76
3.5.4 透射电子像 78
3.5.5 X射线像 80
3.6.1 加热装置 84
3.6 附属装置 84
3.6.2 电视(TV)扫描装置 87
3.6.3 寇塞尔相机 89
第四章 样品 91
4.1 样品的制备方法 91
4.1.1 样品的大小 91
4.1.2 样品表面的凹凸研磨 92
4.1.3 样品表面凹凸引起的X射线强度变化 94
4.1.4 腐蚀引起的样品表面变化 95
4.1.5 样品的导电性与喷镀 96
4.1.6 粉末样品及薄膜样品的制备 97
4.1.7 特殊样品 98
4.2.1 标准样品与测量背底所用样品的选择 99
4.2 标准样品 99
4.2.2 合成样品的制备 100
第五章 测量 101
5.1 测量前的调研与测量准备 101
5.2 定性分析 102
5.2.1 定性分析方法 102
5.2.2 峰背(L-B)比与探测极限 106
5.3 定量分析 109
5.3.1 加速电压的选择 109
5.3.2 入射电流(吸收电流)与计数时间的选择 112
5.3.3 对多种元素同时进行分析时存在的问题 120
5.4.1 点分析 122
5.4 测量区域与分析方法 122
5.4.2 线分析 123
5.4.3 面分析 127
第六章 修正 130
6.1 修正的物理基础 131
6.1.1 入射电子的穿透及散射过程 134
6.1.2 X射线的产生过程 139
6.1.3 X射线的吸收过程与荧光激发 154
6.1.4 f(x)函数 162
6.2 修正方法 165
6.2.1 原子序数修正与吸收修正的关系 166
6.2.2 原子序数修正 167
6.2.3 吸收修正 171
6.2.4 荧光(激发)修正 173
6.3 修正计算举例 179
6.3.1 原子序数修正系数 180
6.3.2 吸收修正系数 181
6.3.3 荧光(激发)修正系数 183
6.3.4 总的修正系数及修正值 186
6.3.5 实际应用中修正系数的求法 186
6.4 修正系数随测量条件及样品成分而发生的变化 187
6.4.1 原子序数修正系数Gz的变化 187
6.4.2 吸收修正系数GAb的变化 188
6.4.3 荧光(激发)修正系数GF的变化 189
6.5 利用电子计算机进行修正计算 190
第七章 应用 192
参考文献 196
参考图书 201
附表1 元素名称、原子序数、原子量、密度 202
附表2 特征X射线与吸收边及其激发电压 206
附表3 质量吸收系数 212
附表4 轻元素特征X射线的质量吸收系数 234
附表5 吸收边短波长一侧的质量吸收系数 236
附表6 强度函数 240
附表7 J(A)值 245
附表8 激发效率 247
附表9 cosecφ值 249
附表10 汤姆逊一惠丁顿公式〔式(5.5)〕中的常数随加速电压(Vo)的变化 250