目录 1
第一章 绪论 1
1.1 光栅莫尔技术的发展简史 1
1.2 光栅莫尔技术的应用 3
1.3 光栅莫尔技术的动向 7
1.4 推广数字显示技术的效益 8
第二章 光栅测量原理 10
2.1 粗光栅测量原理 10
2.2 细光栅测量原理 13
2.3 光栅测量的特点 18
2.4 莫尔条纹的类型 19
2.5 莫尔条纹的选用 29
第三章 光栅测量的光学系统 30
3.1 菲涅耳系统 33
3.2 夫琅和费系统 36
3.3 镜象式光学系统 46
3.4 反射式光学系统 50
3.5 粗—细光栅组合系统 50
3.6 空间滤波光学倍频系统 53
3.7 光学系统的要求 66
第四章 莫尔信号的电子学细分 90
4.1 引言 90
4.2 电阻链细分 91
4.3 莫尔条纹乘法倍频 95
4.4 位相跟踪细分电路设计 100
4.5 载波调制细分 106
4.6 莫尔信号的数字鉴相技术 111
第五章 光栅数字显示装置的元器件 119
5.1 计量光栅 120
5.2 光电接收元件 157
5.3 光源 171
第六章 数字式位置测量系统 181
6.1 数字式长度测量系统 181
6.2 轴角编码器 198
6.3 轴角编码器的应用和展望 216
第七章 角度测量和控制 223
7.1 精密测角技术 223
7.2 光栅技术在圆刻机和检测仪中的应用 243
7.3 光栅式经纬仪 259
7.4 机床传动链测试 268
第八章 光栅数字显示技术在计量仪器中的应用 280
8.1 数显型和微机型万能工具显微镜 280
8.2 数字显示立式光学计 296
8.3 数字式万能测长仪 308
8.4 二坐标和三坐标测量机 332
参考文献 347