第一篇 光学计量仪器设计基础 1
第一章 光学计量仪器概论 1
1-1 概述 1
1-2 光学计量仪器的基本技术指标 2
1-3 光学计量仪器的基本设计原则 4
一、阿贝比较原则 4
二、运动学设计原理 6
三、匹配原则 9
四、经济原则 9
第二章 仪器精确度分析与计算 11
2-1 概述 11
一、测量误差与仪器精确度 11
二、光学计量仪器的精确度指标 12
三、精确度分析与计算的任务和地位 13
四、动态精确度概念 14
2-2 仪器误差的来源和分析 15
一、研制仪器过程与误差来源(误差源) 15
二、仪器误差的来源和分析 16
三、误差的性质及其分类 34
2-3 误差计算方法 35
一、误差独立作用原理 35
二、微分法求仪器误差 36
三、几何法计算误差 38
四、机构误差的分析计算方法 39
五、矢量在误差分析中的应用 45
六、球面三角法解误差问题 51
2-4 仪器的总误差及其计算 55
一、总误差的组成 55
二、系统总误差 55
三、偶然总误差 55
四、可忽略误差的剔除 56
五、总误差和精确度指标 56
六、系统误差和偶然误差的区分 57
2-5 仪器精确度设计--公差的制定与误差补偿 58
一、仪器精确度指标的制定 58
二、制定公差的依据 58
三、系统误差的公差 59
四、偶然误差的公差 59
五、公差的调整 61
六、制定公差实例 62
七、误差补偿方法及实例 67
八、精确度计算步骤 73
第三章 光学计量仪器的总体设计 74
3-1 概述 74
一、仪器的总体综合研究 74
二、仪器总体参数的确定 75
三、技术设计 75
3-2 总体设计的主要起始数据 76
一、光源 76
二、接收器 78
3-3 光学系统基本参数的确定 86
一、显微系统 86
二、投影系统参数的确定 92
三、望远系统参数的确定 96
四、照明系统 98
3-4 总体设计的一般步骤及举例 101
一、仪器用途 101
二、总体综合研究 101
三、由使用要求确定技术指标 102
第二篇 单元设计 107
第四章 标准器 107
4-1 概述 107
4-2 长度基准--光波波长 107
一、概述 107
二、常用标准波长 108
4-3 标尺 109
一、分类与规格 109
二、金属标尺与玻璃标尺 109
三、标尺的误差与精度 111
四、尺座的机械结构与调整 112
4-4 度盘 113
一、概述 113
二、度盘的误差 115
三、度盘参数的选择 118
四、度盘的固定方法与调整 120
4-5 计量光栅 121
一、概述 121
二、莫尔条纹原理 122
三、圆光栅莫尔条纹图案 127
四、莫尔条纹的衍射解释 128
五、光栅的零位系统(编码) 130
六、光栅参数的选择 131
七、光栅的误差 133
八、光栅的固定和调整 134
4-6 光学码盘 134
一、概述 135
二、循环码及其转换 138
三、精码、粗码和校正码 140
四、码盘的误差 143
五、码盘的参数选择 144
第五章 瞄准与定位系统 146
5-1 光学瞄准方法 146
一、对线法 146
二、重合法 146
三、双象法 151
四、互补色法 152
五、反射法 152
5-2 光电对准方法 156
一、光电显微镜 156
二、光电准直光管 160
5-3 接触式定位方法 160
一、光学指零器 160
二、电子接触式定位装置 162
第六章 读数与测微系统 166
6-1 概述 166
一、对读数测微系统的要求 166
二、读数测微的适宜条件 166
三、读数测微系统的分类 168
6-2 光学机械式读数装置 168
一、分划板式读数装置 168
二、平板摆动式读数装置 177
三、光楔移动式读数装置 180
四、透镜测微器 181
6-3 光栅的光电读数 183
一、光栅测量原理 184
二、光栅信号的光电特性 186
三、光栅信号的光电计数 190
四、光栅读数头 191
6-4 光栅的电子细分 198
一、概述 198
二、电子细分原理和方法 198
三、直接细分法 201
四、移相电阻链方法 203
五、细分原理小结 206
六、电子细分对光栅信号提出的要求 207