目录 1
绪论 1
第一章 力传感器 4
§1-1 金属应变片 4
§1-2 压阻式压力传感器的基本原理 10
§1-3 压阻式压力传感器的结构设计 16
§1-4 硅压阻式压力传感器的制造 23
§1-5 硅压阻式传感器的测量与补偿线路 25
§1-6 压阻式压力传感器的结构、性能与应用 28
§1-7 其他几种压阻式力学量传感器 29
§1-8 压电式力传感器的基本原理 33
§1-9 压电式力传感器的压电材料 35
§1-10 力传感器压电元件的等效电路与测量线路 44
§1-11 几种压电式力学量传感器 49
第二章 温度传感器 60
§2-1 热电偶 61
§2-2 金属测温电阻器 65
§2-3 半导瓷热敏电阻温度传感器 66
§2-4 厚薄膜热敏电阻温度传感器 79
§2-5 半导体温度传感器 83
§2-6 晶体温度传感器 92
§2-7 NQR温度计 94
§2-8 非接触型温度（热）传感器 95
第三章 气体传感器 99
§3-1 概述 99
§3-2 接触燃烧式气体传感器 100
§3-3 半导体气体传感器的工作机理和特性参数 105
§3-4 SnO2气体敏感材料 109
§3-5 典型的SnO2气敏元件 112
§3-6 氧化锌系和氧化铁系气敏元件 122
§3-7 氧气及其他气体传感器 130
§3-8 气体传感器的应用与发展 141
第四章 湿度传感器 146
§4-1 湿度的重要性 146
§4-2 湿度的表示方法及湿度发生装置 147
§4-3 湿度传感器的基本特性与参数 150
§4-4 电解质湿度传感器 155
§4-5 陶瓷湿度传感器 158
§4-6 半导体结型及MOS型湿度传感器 170
§4-7 高分子湿度传感器 173
§4-8 湿度传感器的选择与应用 177
第五章 光传感器 182
§5-1 引言 182
§5-2 外光电效应器件 186
§5-3 内光电效应器件 193
§5-4 热敏效应光电器件 200
§5-5 光纤传感器 201
§5-6 电荷耦合器件〔CCD〕列阵探测器 209
§5-7 光传感器的应用 210
第六章 磁传感器 212
§6-1 霍尔器件与霍尔集成电路 212
§6-2 半导体磁阻器件 221
§6-3 结型磁敏器件 233
§6-4 强磁性金属磁敏器件 238
第七章 电压敏传感器 244
§7-1 电压敏感元件的基本特性 244
§7-2 电压敏感元件的电参数 248
§7-3 电压敏感元件的种类 251
§7-4 压敏元件的应用 261
参考文献 273