第一章 绪论 1
一、电子束扫描曝光的含义 1
二、电子束曝光的优越性 3
三、曝光机类型与组成 6
四、曝光机的发展与应用 11
参考资料 15
第二章 电子束的形成与偏转 17
第一节 电子枪 17
一、发射极 18
二、电子束的形成 25
三、电子束的交叉截面 27
四、交叉截面的电流密度 28
五、亮度 32
六、三级电子枪的交叉截面半径 33
第二节 磁透镜 36
一、磁透镜 36
二、象差 42
三、色差 49
四、机械误差和其它破坏轴对称因素 52
第三节 电子束的偏转 56
一、磁偏转 57
二、偏转畸变与象差 59
三、静电偏转 61
第四节 偏转系统与扫描 64
一、矢量扫描法 66
二、光栅扫描法 70
第五节 电子光柱体的类型 72
一、高斯圆束电子光柱体 73
二、固定成形束电子光柱体 74
三、可变成形束电子光柱体 76
四、字符成形束电子光柱体 79
参考资料 81
第三章 电子抗蚀剂掩模与图形转印 83
第一节 电子抗蚀剂的性能 83
一、灵敏度 86
二、反差 91
三、分辨率 93
第二节 抗蚀剂图形制作工艺 95
一、涂胶 95
二、前烘 95
三、曝光 96
四、熟化 96
五、显影 97
六、后烘 103
第三节 抗蚀剂的掩模作用 104
七、等离子体去渣 104
一、加厚工艺用的抗蚀剂掩模 105
二、减薄工艺用的抗蚀剂掩模 108
三、亚微米图形掩模 115
第四节 电子抗蚀剂材料 123
一、负电子抗蚀剂 124
二、正电子抗蚀剂 141
参考资料 153
一、质点弹性碰撞 155
第一节 电子与抗蚀剂的相互作用 155
第四章 电子散射与邻近效应 155
二、散射截面 157
三、弹性散射截面的计算 159
四、电子的能量丢失与电子射程 162
第二节 薄胶层的吸收能量密度 166
一、散射效应 166
二、吸收能量密度 171
三、前向电子(前散射)的作用 173
四、胶中背散射电子的作用 176
五、衬底背散射电子的作用 178
第三节 近似分析函数 182
一、蒙特卡罗模拟 182
二、近似分析函数 184
三、近似分析函数的参数 189
第四节 胶层等能量密度剖面轮廓 192
一、剖面轮廓 192
二、分辨率 195
三、图形线宽 197
一、邻近函数 202
第五节 邻近效应 202
二、邻近函数的参数 204
三、减小邻近效应的方法 205
第六节 自一致邻近校正技术 207
一、邻近相互作用的计算 210
二、校正计算与图形分区 212
三、图形数据分割 218
四、程序包SPECTRE 225
第七节 邻近校正中的几种技术 226
一、尺寸调整与束点校正 227
二、快速图形分割技术 229
三、光栅扫描的邻近校正 234
四、声表面波器件图形的邻近校正 238
参考资料 246
第五章 掩模版与基片直接曝光 249
第一节 曝光参数的选用 249
一、数字分辨率 249
二、电子抗蚀剂 252
三、束流 253
第二节 位置精变 255
一、激光干涉仪精密定位 256
二、基片直接曝光的套准问题 258
三、翘曲基片的校正 260
第三节 套准标志及其信号处理 264
一、套准标志 264
二、标志信号的产生 268
三、探测装置 273
四、信噪比 283
五、标志信号处理 285
第四节 自动套准系统 291
一、标志探测 294
二、模拟信号处理 297
三、数字数据处理 299
第五节 曝光工作时间估计 304
一、芯片实际书写时间Te 304
二、辅助时间To 306
三、8K FET存贮器芯片书写扫描时间 309
第六节 电子束曝光在微型器件制造中的应用 312
一、磁泡 313
二、约瑟夫逊超导器件 317
三、集成光路 319
四、声表面波器件 324
参考资料 325
第六章 电子束扫描曝光机简介 328
第一节 VS-1矢量扫描圆束机 328
一、概述 328
二、电子光柱体 332
三、机械工件台系统 338
四、VS-1机的自动控制 340
五、软件 353
第二节 LEBES矢量曝光机 355
一、电子光柱体 355
二、机械系统 357
三、电子部件 358
四、计算机系统与软件 359
一、概述 369
第三节 EBMF6型微细加工机 369
二、电子光柱体 372
三、机械系统 374
四、图形发生器及信号处理 376
五、计算机系统与软件 381
第四节 MEBES型光栅扫描机 385
一、电子光柱体 386
二、机械系统 388
三、电子部件 392
四、计算机系统与软件 396
第五节 EL-1型固定成形束机 403
一、电子光柱体 404
二、EL-1的动态校正 407
三、自动套准系统 411
四、EL-1机的改进 413
第六节 EB55可变成形束机 419
一、概述 419
二、电子光柱体 420
参考资料 424