第一章 扫描电镜的基本原理 1
一、什么是扫描电镜 1
二、入射电子与物质的交互作用 2
三、扫描电镜的工作原理 8
3.1 扫描电镜的基本结构 8
3.2 成像系统流程 10
3.3 描述电子束的基本参数 11
四、扫描电子像的成像性质 13
4.1 成像的等效几何关系 13
4.2 衬度效应来源 15
4.3 影响扫描电子像质量的因素 18
五、扫描电镜的特点和应用前景 21
5.1 扫描电镜的特点 21
5.2 扫描电镜的应用前景 24
六、小结 26
参考文献 27
第二章 晶体中的电子通道效应及其机制 28
一、电子通道花样的发现经过及其基本性质 28
二、定性模型--双光束模型 31
三、FB模型--多光束模型 32
四、多重散射模型--蒙特卡罗方法 36
五、电子多重散射的传输模型 39
六、小结 44
参考文献 45
第三章 观察电子通道花样的最佳光路设计和实验指导 46
一、观察电子通道效应的条件和类型 46
1.1 观察电子通道效应的电子光学必要条件 46
1.2 电子通道效应的成像类型 47
1.3 各种图像观察条件的比较 49
二、基本的电子光学光路和控制参数 50
三、标准扫描光路 53
四、选区扫描光路 56
五、实验指导 58
5.1 试样条件 58
5.2 扫描电镜的工作条件 60
5.3 获得电子通道花样的实验程序 62
六、小结 64
参考文献 66
第四章 电子通道花样的成像几何关系分析 67
一、有关定义和基本概念 67
1.1 电子束的扫描方式和成像关系 67
1.2 等效投射距离 69
1.3 等效几何关系 70
二、普遍几何关系式推导 71
三、描述电子通道带宽度的基本关系 75
3.1 普遍关系 75
3.2 通道带宽W和衍射角θ1的关系 76
3.3 通道带宽和测量位置的关系 78
四、描述电子通道带间夹角的基本关系 79
五、各种立方晶体的理想电子通道图 82
5.1 基本概念 82
5.2 绘制理想电子通道图的方法和步骤 83
5.3 理想电子通道图的性质和运用 85
六、小结 89
参考文献 90
第五章 电子通道花样的测量和注释 91
一、测量的意义和内容 91
2.1 投射原点位置的确定 92
二、电子通道花样的几何测量 92
2.2 晶带轴极点位置的确定 93
2.3 等效投射距离的确定 94
2.4 电子通道带间角度关系的测量问题 97
2.5 电子通道带宽度的测量 98
三、电子通道花样的衬度测量 101
3.1 真实衬度测量 101
3.2 本征衬度的相对测量--临界电流法 102
四、电子通道花样的结晶学注释 104
4.1 结晶学注释的目的和意义 104
4.2 比较法 104
4.3 解析法 105
4.4 相似原理分析法 110
五、电子通道带和晶面投射极点的关系 116
六、小结 123
参考文献 124
第六章 电子通道显微术 125
一、结晶学衬度和电子通道显微术 125
1.1 什么叫做结晶学衬度 125
1.2 产生结晶学衬度的简单模型 126
1.3 电子通道显微像的基本性质 126
二、电子通道显微术的观察条件和光路 128
2.1 必要条件 128
2.2 标准扫描光路 129
2.3 单偏转摇摆欠聚焦扫描光路 129
2.4 两种光路的应用比较 131
三、多晶材料的电子通道显微像 131
4.1 晶体缺陷的成像原理 135
四、晶体缺陷的直接观察 135
4.2 观察晶体缺陷条件的分析 137
五、小结 138
参考文献 139
第七章 电子通道效应的叠加效应--奇异花样 140
一、奇异花样的发现经过 140
二、奇异花样的几何特征和结晶学性质 144
三、奇异花样的衬度效应来源和定性分析 144
四、展望 149
参考文献 150
第八章 电子通道分析技术在材料科学中的应用 151
一、应用原理 151
二、入射电子探针能量的测定 152
三、晶体中位错密度的测定 155
4.1 单晶位向分析 157
四、在结晶学分析方面的应用 157
4.2 多晶位向分析 159
4.3 孪晶位向分析 160
4.4 两相位向分析 161
4.5 晶界位向分析 163
4.6 晶格常数的测定 166
4.7 小结 166
五、在表面科学研究方面的应用 167
六、在辐照损伤研究方面的应用 168
七、在塑性变形研究方面的应用 170
八、在断裂研究方面的应用 173
九、在相变研究方面的应用 175
十、展望 176
参考文献 177