第一章 历史的回顾 1
1.1 仪器原理 1
1.2 扫描电子显微镜的早期历史 2
1.3 剑桥小组的工作，麦克马伦的显微镜 7
1.4 史密斯的电镜 9
1.5 扫描透射电子显微镜 10
第二章 设计上的基本限制 12
2.1 引言 12
2.2 入射电子探针的电流密度 12
2.3 电子探针电流的波动 13
2.4 图象的扫描行数 15
2.5 透镜象差 18
2.6 最佳孔径角与分辨本领极限 20
2.7 d＞0.01微米时的近似 21
2.8 近似方程组 23
第三章 扫描电镜的组成 26
3.1 电子枪 26
3.2 电子透镜 57
3.3 扫描系统 81
3.4 信号电流的接收和放大 95
3.5 真空系统 119
3.6 显象单元 120
3.7 仪器整体 121
第四章 电子与固体的相互作用 123
4.1 引言 123
4.2 电子在固体内的射程 130
4.3 背散射电子 137
4.4 电荷和能量的分布 143
4.5 二次电子发射 145
4.6 试样的充电 153
第五章 反差和分辨本领 156
5.1 反差 156
5.2 立体操作 169
5.3 分辨率 171
参考文献 175