目录 2
第一章 电子材料开发的重要性 2
1.1 电子材料在电子工业中的作用…………………（1 ）1.2 电子材料与需求的关系 2
1.3 电子材料开发的特点 2
1.4 重要的电子材料技术 3
参考文献 4
第二章 集成电路、大规模集成电路的材料技术 5
2.1 硅器件的历史 5
2.2 半导体集成电路的构成 9
2.2.1 高度集成化的要求 9
2.2.2 双极集成电路与MOS集成电路 9
2.2.3 器件结构的微细化与材料、工艺技术 14
2.3 各种工艺技术概论 17
2.3.1 高纯度材料的制备技术 17
2.3.2 单晶制备技术 19
2.3.3 外延技术 26
2.3.4 薄膜制备技术 32
2.3.5 掺杂技术 42
2.3.6 表面处理技术 53
2.3.7 超微细加工技术 60
2.4 分析、测量与评价技术 80
2.4.1 光学法 81
2.4.2 电气法 81
2.4.3 物理分析仪器法 82
2.4.4 硅器件工艺问题与分析功能复合化 102
参考文献 105
第三章 存储器材料 110
3.1 存储器的变迁 110
3.1.1 第一时期（1955年前后） 111
3.1.2 第二时期（1963年前后） 112
3.1.4 第四时期（至今） 113
3.1.3 第三时期（1970年前后） 113
3.2 存储器的功能与特性 114
3.3 半导体存储器（集成电路存储器） 118
3.3.1 半导体存储器的构成 119
3.3.2 MOS静态存储器 120
3.3.3 MOS动态存储器 121
3.3.4 双极存储器 124
3.3.5 非易失性存储器 127
3.3.6 半导体存储器的未来 128
3.4 磁盘存储器 129
3.4.1 磁盘存储器的概要 129
3.4.2 数字磁记录的原理与理论 133
3.4.3 磁盘 138
3.4.4 磁头 141
3.5.1 磁泡器件的工作原理 148
3.5 磁泡器件 148
3.5.2 磁泡器件的特性与材料的各种磁常数 150
3.5.3 磁泡材料 157
3.5.4 磁泡器件的芯片构成 160
参考文献 164
第四章 化合物半导体 168
4.1 化合物半导体的特点 168
4.2.1 块状晶体生长 172
4.2 化合物半导体的晶体生长 172
4.2.2 外延生长 173
参考文献 176
第五章 光电子材料 177
5.1 概论 177
5.2 发光二极管 181
5.2.1 显示用可见发光二极管 184
5.2.2 红外发光二极管（IRED） 188
5.3.1 原理 193
5.3 半导体激光器 193
5.3.2 条形激光器 197
5.3.3 制作方法 198
5.3.4 特性 199
5.3.5 可靠性 201
5.3.6 双异质结半导体激光器材料 203
5.3.7 应用…………………………………………（ ？）5.4 光检测器 205
5.4.1 半导体光电二极管 205
5.4.2 光电导检测器 213
5.4.3 光电倍增管 214
5.5 光纤 215
5.5.1 光纤材料与制法 217
5.5.2 光纤的特性 222
5.6 集成光器件 225
5.6.1 集成用薄膜光器件 226
5.6.2 光集成化 234
5.7.1 光电导摄像管 236
5.7 摄像器件 236
5.7.2 增强型摄像管 239
5.7.3 固体摄像器件 240
5.8 平板显示器 245
5.8.1 液晶显示器 245
5.8.2 气体放电显示器 245
参考文献 262
第六章 奇异的电子材料 267
6.1 高频器件材料（化合物半导体） 267
6.1.1 耿氏效应器件 267
6.1.2 场效应晶体管（FET） 268
6.1.3 CaAs集成电路 270
6.1.4 超晶格器件 271
6.2 声表面波材料 272
6.3.2 光（电磁波）传感器 274
6.3 传感器材料 274
6.3.1 温度传感器 274
6.3.3 磁传感器 276
6.3.4 压力传感器 276
6.3.5 气体、温度传感器 276
6.4 能源有关材料 277
6.4.1 光电变换材料 277
6.4.2 光热变换材料 278
6.4.3 固体电解质 279
6.5 超导材料 280
6.6 非晶材料 281
6.6.1 非晶硫硒碲化合物半导体 281
6.6.2 非晶硅 282
6.6.3 非晶光电导体 283
6.6.4 非晶磁性体 283
6.7.2 陶瓷磁性体 284
6.7.3 陶瓷介质、压电体 284
6.7 陶瓷材料 284
6.7.1 何谓陶瓷 284
6.7.4 陶瓷导体 285
6.8 有机电子材料 285
6.8.1 高分子绝缘材料 286
6.8.2 抗蚀剂材料 286
6.8.3 液晶 286
6.8.4 光电导体 287
6.8.5 高分子驻极体 287
6.8.6 光电产材料 287
参考文献 288
第七章 电子材料的未来 289
7.1 现在材料的未来 289
7.2 新材料 290