目录 3
第1篇 电真空材料 3
第1章 难熔金属 3
1.1 钨 4
1.1.1 钨的物理性质 4
1.1.2 钨的化学性质 13
1.1.3 钨的机械性能 14
1.1.4 含氧化物添加剂的钨丝 18
1.1.5 钨合金 21
1.1.6 钨及其合金的牌号和应用 24
1.2 钼 25
1.2.1 钼的物理性质 26
1.2.2 铝的化学性质 28
1.2.3 钼的机械性能 30
1.2.4 含氧化物添加剂的钼 34
1.2.5 钼合金 35
1.2.6 钼及其合金的牌号和应用 38
1.3 钽和铌 39
1.3.1 钽、铌的物理性质 39
1.3.2 钽、铌的化学性质 41
1.3.3 钽和铌的机械性能 43
1.3.4 钽-铌合金 45
1.3.5 钽、铌及其合金的牌号和 49
应用 49
1.4 钛、锆、铪 50
1.4.1 钛 50
1.4.2 锆 59
1.4.3 铪 61
1.5 铼 63
1.5.1 铼的原子、晶体结构性质 63
1.5.2 铼的热性质 63
1.5.4 铼的化学性质 64
1.5.3 铼的电磁性质 64
1.5.6 铼的用途 65
1.5.5 铼的机械性能 65
第2章 非难熔金属 67
2.1 铁和钢 67
2.1.1 纯铁的成分、用途和性能 67
2.1.2 电真空技术中常用的钢 71
2.1 镍及其合金 86
2.2.1 镍的特性 87
2.2.2 阴极用镍及其合金 91
2.2.3 其它几种常用的镍合金 100
2.3 铜及其合金 104
2.3.1 纯铜 104
2.3.2 黄铜 114
2.3.3 青铜 115
2.4.1 铝的物理、机械性能 119
2.4 铝及其合金 119
2.4.2 铝的化学性能 120
2.4.3 铝的工艺性能 121
2.4.4 真空技术中常用的铝及其合金 121
2.4.5 应用 126
2.5 膨胀合金 127
2.5.1 铁磁性膨胀合金 127
2.5.2 非铁磁性膨胀合金 137
第3章 焊料 141
3.1 电真空器件对焊料的基 141
本要求 141
3.2 常用电真空焊料的分类 142
3.2.1 钯系焊料 142
3.2.2 金系焊料 142
3.2.3 银系焊料 142
3.2.5 其它焊料 143
3.2.4 铜系焊料 143
3.3 常用电真空焊料性能图、 144
表汇编 144
第4章 其它金属材料 162
4.1 贵金属及其合金 162
4.1.1 贵金属的性能 162
4.1.2 贵金属及其合金的应用 168
4.2 金属粉末 170
4.3 复合材料 173
4.3.1 封接用复合材料 173
4.3.2 电极用复合材料 175
4.3.3 其它复合材料 176
第5章 磁性材料 179
5.1 软磁材料 179
5.1.1 软磁材料的磁性能 179
5.1.2 常用的软磁材料 180
5.1.3 磁温度补偿合金 188
5.2 永磁材料 189
5.2.1 永磁材料的特性与分类 189
5.2.2 微波电子管中常用的永磁材料 191
5.3 超导磁体 200
5.3.1 超导现象与物理概念 200
5.3.2 实用的超导材料和使用 202
条件 202
5.3.3 超导磁体电流供电方法 204
5.3.4 超导材料的应用 204
第6章 电真空陶瓷 207
6.1 氧化物瓷 207
6.1.1 氧化铝瓷 207
6.1.2 氧化铍瓷 209
6.1.3 透明瓷 211
6.2.1 滑石瓷 212
6.2 硅酸盐瓷 212
6.1.4 其它氧化物瓷 212
6.2.2 镁橄榄石瓷 215
6.2.3 硅灰石瓷 215
6.2.4 锆英石瓷 215
6.3 氮化物瓷 215
6.4 其它电真空用瓷 217
6.4.1 衰减瓷 217
6.4.2 可切削瓷 218
6.5 电真空瓷的物理性能 219
6.5.1 真空性能 219
6.5.2 热性能 220
6.5.3 电性能 224
6.5.4 机械性能 230
6.6 电真空瓷的化学性能 232
6.6.1 与气体的反应 232
6.5.5 其它性能 232
6.6.2 与液体的反应 233
6.6.3 与固体的反应 233
第7章 电真空玻璃 234
7.1 电子管玻璃 235
7.1.1 钨组玻璃 235
7.1.2 钼组玻璃 235
7.1.3 铂组玻璃 235
7.2.1 黑白显象管玻璃 238
7.1.4 钢组玻璃 238
7.2 显象管玻璃 238
7.2.2 彩色显象管玻璃 240
7.3 焊料玻璃 243
7.3.1 焊料玻璃的某些特性 243
7.3.2 易熔焊料玻璃 245
7.3.3 难熔焊料玻璃 248
7.4 微晶玻璃 249
7.3.4 中间玻璃 249
7.4.1 微晶玻璃的分类 250
7.4.2 微晶玻璃的性能 252
7.4.3 热敏微晶玻璃 253
7.4.4 光敏微晶玻璃 253
7.4.5 特种微晶玻璃 255
7.5 石英玻璃 260
7.5.1 石英玻璃的分类 260
7.5.2 石英玻璃的生产工艺特点 261
7.5.3 石英玻璃的性能 262
7.5.4 特种石英玻璃 267
第8章 其它介质材料 270
8.1 云母 270
8.1.1 云母的组成和结构 270
8.1.2 云母的性质 271
的应用 276
8.1.3 天然云母及合成云母制品 276
8.2 金刚石 277
8.2.1 类型 277
8.2.2 化学成分及杂质氮 278
8.2.3 化学物理性能 278
8.2.4 人造金刚石、人造多晶金 282
刚石衰减材料 282
8.2.5 应用 282
8.3 人造蓝宝石 284
8.3.1 人造蓝宝石的特性 284
8.3.2 人造蓝宝石单晶的生长 287
方法 287
8.3.3 人造蓝宝石的应用 289
8.4 碳及石墨制品 290
8.4.1 碳和石墨材料的物理性能 291
8.4.2 碳和石墨材料的化学性能 295
8.4.3 高纯石墨制品 296
8.4.4 石墨乳 297
8.5 真空油脂 299
8.5.1 真空脂 299
8.5.2 真空封泥及封蜡 301
8.5.3 真空泵油 302
8.5.4 高真空微孔密封剂 305
8.5.5 有机硅偶联剂 306
8.6 硅、氟橡胶及其制品 306
8.6.1 硅橡胶 306
8.6.2 硅橡胶的性能 307
8.6.3 氟硅橡胶 307
8.6.4 氟橡胶 308
8.6.5 氟橡胶的选用 309
8.6.6 几种常用的氟化物 309
1．金属的物理性能 314
附 表 314
2．固态和液态元素的蒸气压 316
3．各种耐高温材料的蒸气压 320
4．电子器件常用材料退火温度 320
5．各种气体与蒸气的爆炸范围、自燃 321
点、蒸气的比重 321
6．硬度换算表 322
1.1 沾污的类型 327
第1章 材料与零部件的净化 327
第2篇 电真空器件通用生产技术 327
1.2 机械净化 328
1.2.1 磨光 328
1.2.2 抛光 330
1.2.3 刷光 330
1.2.4 喷砂 332
1.2.5 滚筒研磨 334
1.3.1 溶剂净化 338
1.3 化学净化 338
1.3.2 洗净剂净化 342
1.3.3 碱液净化 346
1.3.4 酸液净化 349
1.3.5 水清洗 355
1.4 热处理净化 355
1.4.1 在空气中热处理 355
1.4.2 在氢气中热处理 357
1.4.3 在真空中热处理 363
1.5 其它净化 367
1.5.1 电化学净化 367
1.5.2 超声净化 371
1.5.3 粒子轰击净化 374
1.5.4 激光净化 374
1.6 净化件的贮存 374
1.7 检验和质量分析 375
2.1.1 喷涂 377
第2章 零部件的被覆 377
2.1 机械被覆 377
2.1.2 刷涂 382
2.1.3 旋涂 385
2.1.4 拉涂 387
2.1.5 浸渍涂覆 387
2.1.6 沉淀被覆 388
2.2 物理被覆 389
2.2.1 静电喷涂 389
2.2.2 熔融喷涂 392
2.2.3 热涂 395
2.2.4 真空蒸镀 396
2.2.5 溅射沉积 399
2.2.6 离子镀 403
2.3.1 化学气相沉积 406
2.3 化学被覆 406
2.3.2 置换镀 409
2.3.3 化学镀 409
2.3.4 化学转化 412
2.4 电化学被覆 413
2.4.1 电镀 413
2.4.2 电泳 421
2.4.3 电化学转化 423
第3章 金属零件的焊接和连接 426
3.1 电阻焊 427
3.1.1 电阻焊的特点和分类 427
3.1.2 电真空工业常用金属点焊 427
的可焊性 427
3.1.3 点焊工艺 429
3.1.4 缺陷分析 438
3.1.5 点焊质量的监测 439
3.1.6 凸焊 440
3.1.7 滚焊 442
3.1.8 对焊 443
3.2 熔化焊 443
3.2.1 氩弧焊 443
3.2.2 微束等离子焊接 453
3.2.3 电子束焊 462
3.2.4 激光焊 471
3.3 钎焊 476
3.3.1 钎焊的特点与种类 476
3.3.2 钎焊接头设计 477
3.3.3 零件钎焊的定位方法及模 481
具选择 481
3.3.4 钎焊工艺 481
3.3.5 多级钎焊 484
3.3.6 常用金属材料的钎焊 485
3.3.7 钎焊在电真空器件生产中 487
的应用 487
3.3.8 钎焊缺陷分析 489
3.4 压力焊 492
3.4.1 扩散焊 492
3.4.2 超声波焊 503
3.4.3 冷压焊 505
3.5 其它连接方法 506
3.5.1 机械连接 506
3.5.2 粘接 511
第4章 玻璃零件及其封接 514
4.1 玻璃零件 514
4.1.1 玻管 514
4.1.2 玻壳 518
4.1.4 玻璃支杆 523
4.1.3 玻碟与玻屏 523
4.1.5 窗口玻片 525
4.2 玻璃零件的冷加工 525
4.2.1 切割 525
4.2.2 研磨 526
4.2.3 抛光 530
4.3 玻璃与金属封接 533
4.3.1 封接件及其材料的技术要求 533
4.3.2 玻璃与金属的润温 534
4.3.3 玻璃与金属的膨胀系数 534
4.3.4 金属材料的净化及表面处理 537
4.3.5 金属氧化层的形成及其工艺 537
4.3.6 典型封接结构及玻璃与 538
金属封接件 538
4.4 玻璃与玻璃的封接 546
4.4.1 直接熔封 546
4.4.2 玻璃焊料封接 547
4.4.3 过渡玻璃封接 548
4.5 应力与退火 553
4.5.1 玻璃中的热致应力 553
4.5.2 玻璃与玻璃的封接应力 553
4.5.3 玻璃与金属的封接应力 554
4.5.4 应力的测定 556
4.5.5 玻璃的退火 557
4.6 玻璃成型的模具 558
4.6.1 对模具材料的技术要求 558
4.6.2 模具材料 558
4.6.3 模具涂料 559
4.6.4 模具温度 559
4.6.5 模具的冷却 559
5.1 电真空器件中的陶瓷 561
及其封接件 561
第5章 陶瓷、云母与金属的封接 561
5.2 常用陶瓷-金属封接结构 564
5.2.1 分类 564
5.2.2 平封结构 566
5.2.3 套封结构 568
5.2.4 针封结构 570
5.2.5 混合结构 571
5.3 常用陶瓷-金属封接工艺 571
5.3.1 烧结金属粉末法 572
5.3.2 活性金属法 584
5.3.3 其他封接方法 590
5.3.4 部分特殊介质的封接方法 594
5.3.5 陶瓷-金属封接件的检验 595
5.4 云母零件及其封接 595
5.4.1 云母零件的加工 595
5.4.2 检验及废品分析 596
5.4.3 云母的封接 597
第6章 阴极 608
6.1 氧化物阴极 609
6.1.1 基金属 610
6.1.2 基金属的成形 613
6.1.3 碳酸盐 616
6.1.4 涂覆工艺 619
6.2 氧化物阴极的变体 625
6.2.1 海绵镍阴极 625
6.2.2 粉敷镍阴极（又称CPC） 627
6.2.3 压制阴极（亦称钡镍阴极） 629
6.2.4 储存式阴极 629
6.3 碳化钍钨阴极 630
6.3.1 阴极的成形 630
6.3.2 阴极的碳化 631
6.4 钡钨阴极 634
6.4.1 钨海绵体 634
6.3.3 碳化钍钨阴极的废品分析 634
6.4.2 难熔盐 637
6.4.3 浸渍钡钨阴极制造工艺 641
6.4.4 压制钡钨阴极制造工艺 642
6.4.5 钡钨阴极的发展 644
6.4.6 钡钨阴极成品质量检验和 645
废品分析 645
6.5.2 次级发射体 646
6.5.1 外场致发射体 646
6.5 冷阴极 646
6.6 其它阴极 647
6.8.1 纯金属阴极 647
6.6.2 六硼化镧阴极 648
6.6.3 氧化钍阴极和稀土氧化物阴极 649
6.6.4 镧钨阴极 650
6.6.5 阴极-热丝组件 651
6.7.1 几项主要性能的比较 653
6.7 阴极性能的比较和应用 653
6.7.2 阴极性能的综合比较和应 658
用范围 658
第7章 热丝 660
7.1 热丝的结构形式 660
7.2 热丝的金属丝材料 661
7.3 热丝的成形 664
7.3.1 成形前丝料的预处理 664
7.3.2 热丝的成形 665
7.3.3 热丝成形的辅助工序 666
7.4 热丝的涂覆 667
7.4.1 热丝涂覆材料 667
7.4.2 热丝涂覆工艺 670
7.5 热丝的烧结 675
7.6 检验方法和废品分析 676
8.2 细丝绕螺旋管形栅极的制造 678
8.1 对栅极材料的要求 678
第8章 栅极 678
8.3 框架栅极的制造 683
8.4 平板栅极的制造 686
8.5 鼠笼栅极的制造 689
8.5.1 车床绕制法 689
8.5.2 专用机绕制法 691
8.5.3 手工绕制法 693
8.5.4 电火花加工法 695
8.5.5 光刻法 697
8.6 热解石墨栅极的制造 698
8.7 网状栅极的制造 701
8.7.1 电火花加工法 701
8.7.2 电镀-机械法 704
8.8 蜂窝状球面无截获栅的制造 710
8.9.1 涂锆 712
8.9 栅极涂覆 712
8.9.2 涂碳化钽 713
第9章 阳极 715
9.1 阳极对材料的要求及常用 715
阳极材料的特性 715
9.1.1 阳极对材料的要求 715
9.1.2 常用阳极材料的特性 715
9.2 阳极的典型结构与制造方法 718
9.2.1 阳极的典型结构 718
9.2.2 典型结构阳极的制造方法 721
9.2.3 阳极的应用范围 724
9.3 阳极组件的典型结构及 727
组合方法 727
9.3.1 自然冷却阳极组件 727
9.3.2 风冷阳极组件 728
9.3.3 水冷阳极组件 729
9.3.4 蒸发冷却阳极组件 730
9.3.5 超蒸发和热管冷却阳极组件 732
9.4 常用连接方法的适用范围 733
9.5 阳极表面处理 734
第10章 吸气剂 735
10.1 蒸散型吸气剂 735
10.1.1 常用蒸散型吸气剂品种 735
10.1.2 蒸散型吸气剂制造工艺 743
10.1.3 蒸散型吸气剂使用要点 745
10.2 非蒸散型吸气剂 750
10.2.1 常用非蒸散型吸气剂品种 751
10.2.2 非蒸散型吸气剂制造工艺 760
10.2.3 非蒸散型吸气剂使用要点 761
11.1 输能装置 764
11.1.1 真空密封窗 764
第11章 微波管组件 764
11.1.2 阻抗变换器 771
11.2 O型器件的慢波系统及 774
谐振系统 774
11.2.1 螺旋线及环杆、环圈形 774
慢波系统 774
11.2.2 耦合腔型系统 789
11.2.3 速调管谐振腔 792
11.3 M型器件的慢波系统及 793
谐振系统 793
11.3.1 正交场器件分布作用慢波系统 793
11.3.2 磁控管谐振系统及管内调谐机构 796
11.4 衰减器 799
11.4.1 薄膜衰减器 800
11.4.2 体积衰减器 805
11.5 电子枪 807
11.5.1 分类与结构 808
11.5.2 特殊制造工艺 808
11.6 收集极 814
11.6.1 分类与结构 814
11.6.2 材料的选择及处理工艺 815
11.6.3 制造工艺 816
11.6.4 冷却方式 817
第12章装 配与封口 820
12.1 装配 820
12.1.1 装配对真空卫生的要求 820
12.1.2 装配中常用的工艺方法 820
12.1.3 阴极部件的装配及要求 821
12.1.4 栅极部件的装配工艺 836
12.1.5 阳极的装配工艺 840
12.1.6 静电控制电子管的装配工艺 840
12.1.7 微波电子管的装配工艺 846
12.2.1 封口用气源 857
12.2 封口 857
12.2.2 封口用的保护气体 860
12.2.3 封口用的模夹具 862
12.2.4 玻璃封口用火头种类和结构 864
12.2.5 玻璃管封口 868
12.2.6 金属管封口 875
第13章 排气、老炼及整管处理 877
13.1 排气 877
13.1.1 排气的要求 877
13.1.2 典型的排气系统 878
13.1.3 典型排气工艺流程图 884
13.1.4 接排气管 884
13.1.5 检漏 887
13.1.6 零件除气 887
13.1.8 阴极的分解与激活 891
13.1.7 吸气剂处理 891
13.1.9 动态排气 894
13.1.10 充气工艺 894
13.1.11 封离 896
13.1.12 电子管典型排气工艺 898
13.2 老炼 901
13.2.1 热阴极电子管的常规老炼规范 901
13.2.2 老炼实例及特点 908
13.3 管外件装配 911
13.3.1 管外件的基本类别及作用 911
13.3.2 装管基、管帽 912
13.3.3 装散热器 916
13.3.4 装外调机构 917
13.3.5 装磁路零部件 920
13.3.6 灌封 923
13.4.1 打印 924
13.4 整管处理 924
13.4.2 涂漆 925
13.4.3 包装及贮存 927
13.4.4 环境试验对电子管外表的要求 929
第14章 真空技术在电真空器件 930
生产中的应用 930
14.1 真空获得 930
14.1.1 旋转机械泵 931
14.1.2 扩散泵 932
14.1.3 涡轮分子泵 935
14.1.4 低温吸附泵 938
14.1.5 钛升华泵和离子泵 938
14.1.6 低温冷凝泵 941
14.1.7 电真空器件常用排气系统 942
14.2 真空测量 945
14.2.1 全压强的测量 945
14.2.2 残余气体分析 951
14.3 检漏技术 971
14.3.1 漏孔的形式与判断 971
14.3.2 排气过程的检漏技术 972
14.3.3 电真空器件零部件的检漏 975
14.3.4 密封管的检漏技术 978
14.3.5 发展中的检漏技术 979
14.3.6 电真空器件常用氦质谱检漏仪 980
14.4 真空技术与电真空器件 981
质量的关系 981
14.4.1 真空度与电真空器件质量 981
的关系 981
14.4.2 管内残余气氛对阴极的作用 982
14.4.3 电真空器件的贮存性能 987
14.4.4 表面分析技术与电真空器件中失效机理分析 999
附录 常用旧计量单位与法定 1004
计量单位换算表 1004