目录 1
第一章 微机械的开发背景和制造技术基础 1
第一节 微机械的开发背景 1
第二节 硅材料的机械特性 5
第三节 微机械的通用加工技术 9
第二章 微机械的制造和应用实例 25
第一节 微型压力传感器 25
第二节 微型加速计 30
第三节 全集成气相色谱分析系统 34
第四节 墨水喷嘴阵列 39
第五节 光纤耦合器和光集成器件 43
第六节 微型冷却器 46
第七节 硅扭转镜 49
第八节 光调制器阵列 54
第九节 微开关 62
第十节 热印刷头 69
第十一节 微型机械手 72
第十二节 微型涡轮机 77
参考文献 81