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目 录 5
一、国外大规模集成电路发展概况 5
二、MOS存储器 24
三、半导体矩阵制造自动设计 40
——选择布线系统 40
四、单片式大规模集成电路的多层布线技术 62
五、集成电路、大规模集成 74
电路中的玻璃工艺 74
六、大规模集成电路的两种互连技术 86
七、大规模集成电路的检测图案 100
八、大规模集成电路的失效机构 114