目录 1
第一章 概述 1
参考文献 3
第二章 离子注入发展概况和它的特点 4
2.1 什么是离子注入 4
2.2 离子注入的特点 5
2.3 离子注入设备简介 6
2.4 金属离子注入发展概况 26
2.5 离子注入现阶段存在的局限性和发展前景 29
考参文献 31
3.1 原子间的相互作用 33
第三章 入射离子在固体中的碰撞和散射 33
3.2 弹性散射和微分散射截面 35
3.3 散射角与散射截面 38
3.4 阻止本领 44
3.5 碰撞截面和原子反冲能的确定 52
参考文献 53
第四章 离子在固体中的射程和注入杂质浓度分布 54
4.1 经典的散射理论 54
4.2 离子射程（LSS理论） 55
4.3 离子的背散射 65
4.4 WHB射程计算法 66
4.5 多元靶中的射程 71
4.6 离子注入双层衬底的杂质分布 71
4.7 离子注入的横向分布 74
4.8 注入元素的分布 76
参考文献 79
第五章 线性碰撞和晶格损伤理论 80
5.1 原子的反冲运动 80
5.2 高能离子辐射损伤 88
5.3 晶格畸变的空间分布 92
参考文献 98
第六章 溅射理论 100
6.1 溅射现象的一般分析 100
6.2 随机碰撞过程中的溅射 103
6.3 透射溅射系数 111
6.4 单晶表面原子发射图 113
6.5 溅射产额与入射离子能量的关系 116
6.6 溅射公式的修正 116
6.7 溅射效应对注入保留量和浓度分布的影响 117
参考文献 122
第七章 热峰（Spike）理论——非线性碰撞理论 124
7.1 问题的提出和实验证据 124
7.2 热峰的分类 126
7.3 热峰（Spike）效应方程的建立 130
7.4 潜热对热峰的影响 144
参考文献 146
第八章 离子束混合、相变和离子束缝合 147
8.1 离子束混合的实验和分析 147
8.2 离子混合中反冲注入量的计算 153
8.3 反冲原子分布的计算 154
8.4 离子束混合硅化物的形成 157
8.5 离子束引起原子混合和界面反应机制 159
8.6 亚稳态合金相或晶态平衡相的形成 164
8.7 离子束缝合 175
参考文献 192
第九章 离子注入辐射损伤和辐射金属相变 195
9.1 离子辐射损伤的几个基本概念 195
9.2 晶格辐射损伤与注量关系的实验 197
9.3 辐射损伤的理论分析 200
9.4 离子注入无序态与靶温的关系 202
9.5 无序层形成和外延生长的高分辨率电子显微镜观察 205
9.6 大束流注入下靶子的温升 209
9.7 辐照时材料中空位和间隙原子运动的理论分析 215
9.8 离子注入辐射相变 219
参考文献 229
第十章 离子注入退火中晶格恢复和增强扩散 232
10.1 离子注入退火动力学 233
10.2 离子注入固相外延模型 235
10.3 金属辐射损伤退火 240
10.4 离子注入金属的扩散 248
10.5 离子辐照增强扩散效应 253
10.6 离子注入中溅射、扩散、化合和合金化对注入元素分布的影响及剖面分布的计算 262
参考文献 267
11.1 离子束辐照下合金相的稳定性 270
第十一章 离子注入合金相和金属间化合物的形成 270
11.2 离子注入析出相的形成 274
11.3 离子注入亚稳态固溶体合金相形成 281
11.4 离子注入金属间化合物和合金相 288
参考文献 306
第十二章 离子注入表面改性机理 308
12.1 离子注入强化机理 308
12.2 离子注入金属强化规则 312
12.3 离子注入硬化增强实验 316
12.4 离子注入改善摩擦磨损特性 328
12.5 离子注入的摩擦特性 332
12.6 离子注入抗磨损实验 336
12.7 离子注入抗疲劳特性 341
12.8 离子注入金属化学效应 349
参考文献 352
第十三章 离子注入和离子镀 355
13.1 离子镀层的特点及应用 355
13.2 离子镀原理 361
13.3 几种常用的离子镀设备 366
13.4 从冶金学角度研究生成膜的品质 381
13.5 离子束混合离子镀界面缓冲层的形成 388
参考文献 390
附录1 离子注入铁的射程参数 391
附录2 离子注入铝的射程参数 405