第一章 概论 1
1.1 蒙特卡罗模拟发展概况 1
1.2 蒙特卡罗模拟概述 5
1.3 输运方法概述 22
1.4 半导体器件发展中的载流子输运现象 42
参考文献 74
第二章 各种情形下的蒙特卡罗模拟 82
2.1 单粒子蒙特卡罗模拟 82
2.2 多粒子蒙特卡罗模拟 100
2.3 蒙特卡罗通量方法（散射矩阵法） 117
2.4 非抛物性能带 126
2.5 多谷带和卫星谷 130
2.6 价带空穴 135
2.7 混合晶体 145
2.8 二维电子气 153
参考文献 169
第三章 随机事件的处理 173
3.1 确定自由飞行时间的各种自散射方法 173
3.2 查表法求自由飞行时间 184
3.3 散射终态波矢的选择 188
参考文献 198
第四章 半导体器件的蒙特卡罗模拟 199
4.1 器件蒙特卡罗模拟概述 199
4.2 物理模型和物理参数 203
4.3 器件的几何模型 211
4.4 边界和界面 218
4.5 网格划分、电荷分配、电场计算和时间步长选取 229
4.6 自由飞行和散射的处理 238
4.7 初始分布和收敛过程 245
4.8 泊松方程求解 251
4.9 固定电势分布的蒙特卡罗模拟 277
4.10 杂化方法和区域蒙特卡罗模拟 288
4.11 载流子稀有区的统计增强 294
4.12 器件参数 298
参考文献 311
第五章 载流子的散射 318
5.1 散射率 318
5.2 电离杂质散射 325
5.3 声学波形变势散射 342
5.4 声学波压电散射 354
5.5 光学波形变势散射和谷间散射 364
5.6 极性光学波散射 370
5.7 合金无序散射 383
5.8 表面粗糙散射 387
5.9 空穴的散射 391
参考文献 400
第六章 几个专门问题 403
6.1 扩散、噪声和时间相关函数 403
6.2 简并统计 417
6.3 载流子间相互作用和等离子激元散射 422
6.4 载流子-载流子散射 431
6.5 全能带结构蒙特卡罗模拟 439
6.6 碰撞电离 453
参考文献 461
附录1 证明自散射的引入不改变真实散射的时间分布 464
附录2 证明单粒子模拟所得分布函数满足玻耳兹曼方程 466
附录3 玻耳兹曼方程和漂移扩散模型 468
附录4 异质界面电子的量子力学透射系数 470
附录5 几种半导体材料的物理参数 472
参考文献 474
主题索引 476