序言 1
第一章 计算静电场和磁场的数值方法 1
1 引言 1
2 静电透镜 1
一、静电学方程 1
前言 2
二、电荷密度法 2
3 真空静磁学和介质静磁学 3
一、基本方程 3
二、与电流相关联的系统 4
三、轴对称系统的方程 7
四、结论 8
4 拉普拉斯方程和泊松方程的离散化以及网格的生成 8
一、网格法的原理 8
二、网格的生成 9
5 差分方程 11
一、泰勒级数法 11
二、场方程的积分法 12
三、有限元法 18
6 差分方程组的解法 23
一、迭代法 23
7 结果 25
二、直接解法 25
参考文献 27
第二章 低强度束光学特性计算和象差校正的方法 28
1 引言 28
2 运动方程的数值解法 29
一、运动方程的形式 29
二、轨迹跟踪的数值方法 35
三、一些典型的应用 37
3 象差系数的结构 38
一、象差多项式 38
二、象差矩阵 46
三、部件的组合 50
四、计算机代数系统与象差系数 54
4 最佳化与象差的部分校正 58
一、系统的最佳化 58
二、象差的校正 69
三、达姆斯特丹的高分辨率方案 82
5 结束语 86
一、专用数字处理设备 87
二、最后按语 88
参考文献 88
1 引言 100
第三章 发射度、亮度的定义与测量 100
2 定义与基本性质 102
一、哈密顿表示法与刘维定理 102
二、发射度与亮度,基本定义 110
三、发射度概念的改进 119
3 发射度和亮度的测量 124
一、关于粒子束诊断的一般说明 124
二、积分径迹-空间密度分布 126
三、四维径迹空间密度分布 132
四、真实空间密度剖面图:“非破坏性方法” 141
五、发射度测量的改进 147
4 结束语 152
符号与规定 154
参考文献 155
第四章 高分辨扫描透射低能离子显微镜和微量分析器 160
1 引言 160
2 纳米级微探针的形成 161
一、亮度以及有关的一些束流量 161
二、对束斑尺寸的影响 162
三、用光学系统的象差表示的最佳设计参数 163
四、受探针电流限制的分辨率:亮度要求 164
一、场致电离源 166
3 高比亮度的源 166
二、用于STIM的场致离子发射器 171
三、电流体动力学离子源 174
4 SIM和STIM光学系统的设计、象差 174
一、场致离子枪 177
二、有两个或更多个光学单元的系统 180
5 利用各工作系统得到的结果 184
一、采用FI源的枪式显微镜 185
二、采用EHD源的枪式显微镜 191
三、多元镜筒 193
6 将来的发展 194
附注 195
参考文献 196
第五章 高能离子微探针 199
1 用高能离子进行表面分析 199
2 兆电子伏能区离子的光学系统 200
一、一般考虑 200
二、准直器系统 203
三、聚焦元件 204
四、微探针装置 206
3 研究结果选摘 212
4 将来的发展 214
参考文献 215