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第一章 真空技术的基本概念 1
第一节 大气压力 1
第二节 真空的概念 3
第三节 真空技术的基本内容 7
第四节 真空技术在电光源生产中的重要性 9
第二章 真空技术的物理基础 12
第一节 气体分子运动论的基本原理 12
一、气体的基本定律 12
二、蒸气的性质 15
第二节 分子的碰撞次数与分子的自由程 17
第三节 气体沿管道的流动状态及判别法 21
一、气体沿管道的流动状态 21
二、气体流动状态的判别法 22
第四节 管道的流导计算 26
一、粘滞流状态下管道的流导计算 27
二、分子流状态下管道的流导计算 27
三、分子-粘滞流状态下管道的流导计算 28
第三章 真空的获得 33
第一节 真空泵及其分类 33
一、机械真空泵 33
二、扩散泵 33
三、分子泵 34
四、吸附泵 34
五、吸气离子泵 34
六、冷凝泵 34
一、起始压强 35
第二节 真空泵的基本参量 35
三、极限压强 36
四、抽气速率 36
五、常用真空泵型号命名方法 36
二、最大(临界)的压强 36
第三节 机械真空泵 37
一、旋片式机械真空泵 37
二、定片式机械真空泵 40
三、滑阀式机械真空泵 42
四、掺气机械真空泵 43
五、多室旋片式机械真空泵 44
六、机械真空泵油 47
七、机械真空泵的使用和维修 47
一、概述 50
第四节 机械增压泵 50
二、工作原理 51
三、机械增压泵的型式及基本参数 52
第五节 蒸气流扩散泵 54
一、扩散泵的工作原理 55
二、玻璃油扩散泵 56
三、金属油扩散泵和高真空机组 60
四、扩散泵的使用和维护 64
第六节 真空获得和真空保持的其它方法 65
一、玻璃去气方法 66
二、金属去气方法 67
第七节 吸气剂 68
一、白炽灯用吸气剂 70
二、荧光灯用吸气剂 74
三、高压气体放电灯用吸气剂 76
第四章 常用的真空测量仪器和检漏方法 81
第一节 U形真空计 83
第二节 金属指示真空计 86
第三节 压缩真空计 89
第四节 热偶真空计 93
第五节 热阴极电离真空计 96
第六节 利用气体放电粗略估计真空度 100
第七节 真空检漏 105
一、系统漏气的判断 105
二、漏孔的表示方法 107
三、常用的检漏方法 108
第五章 真空系统常用的材料和零件 113
第一节 玻璃材料 114
第二节 金属材料 118
一、常用的黑色金属及其合金 118
二、常用的有色金属及其合金 120
三、常用的低熔点金属 121
第三节 真空橡胶 122
第四节 真空密封物质 124
第五节 真空系统零件 127
一、玻璃阀门 127
二、玻璃分量阀门 129
三、电磁真空阀 129
四、微调真空阀 130
六、干燥器 131
五、返油器 131
七、冷凝捕集器 132
八、玻璃过渡接头 134
第六章 电光源工业中常用的真空系统和设备 137
第一节 白炽灯泡的排气系统和设备 138
一、灯泡圆排气车的构造 139
二、灯泡圆排气车真空系统的安装 143
三、灯泡圆排气车的使用和保养 148
第二节 荧光灯的排气系统和设备 150
一、荧光灯用玻璃真空系统(长排车) 150
二、48工位荧光灯圆排气机 156
第三节 超高压氙灯排气系统 165
一、超高压氙灯玻璃排气系统 166
二、氙灯排气系统的使用过程 167
三、冷冻充气系统压力的计算 169
第四节 高压钠灯封口、排气真空系统 171
一、钠灯内管封接的真空系统 172
二、钠提纯和分装的真空系统 174
三、钠灯内管排气真空系统 177
第五节 真空镀膜设备 178
一、原理 179
二、蒸发源 180
三、真空系统 181
四、膜层厚度的测量 182
第七章 真空系统的设计与计算 184
第一节 真空系统的设计原理 184
第二节 机械泵与扩散泵的匹配 188
第三节 冲洗法的计算 190