第一章 晶体及其能带结构 1
第一节 空间点阵和晶体结构 1
第二节 晶体的能带结构 11
第三节 晶体的物理常数及其坐标变换 21
参考文献 30
第二章 压力传感器的基本原理 31
第一节 单晶硅的压阻效应 31
第二节 扩散硅的压阻效应 44
第三节 多晶硅的压阻效应 55
附录 任意晶向压阻系数的计算 67
参考文献 70
第一节 弹性力学基础 71
第三章 压力传感器中承压弹性膜的应力计算 71
第二节 承压弹性薄膜的应力分析 78
第三节 压力传感器弹性膜二维有限元法的应力计算 86
第四节 压力传感器三维有限元法应力计算简介 103
参考文献 113
第四章 压力传感器芯片版图设计 114
第一节 合理利用压阻系数 115
第二节 力敏电阻条的设计 123
第三节 二极管与三极管的设计 130
第四节 失效与可靠性问题 137
参考文献 142
第五章 压力传感器的衬底制备 144
第一节 硅单晶片抛光的基本原理 144
第二节 衬底片的清洗 152
第三节 外延工艺原理 165
第四节 硅一硅键合工艺原理 175
参考文献 181
第六章 压力传感器的管芯制备 183
第一节 氧化膜的制备 183
第二节 扩散工艺原理 203
第三节 光刻工艺原理 234
参考文献 249
第七章 硅压力传感器的微机械加工 251
第一节 概况 251
第二节 湿化学腐蚀 252
第三节 各向异性腐蚀过程计算机模拟 267
第四节 压力传感器的压力腔腐蚀工艺 275
第五节 表面微机械加工——牺牲层技术 286
第六节 玻璃穿孔技术 288
参考文献 289
第八章 压力传感器的封装 291
第一节 压力传感器的封装意义及要求 291
第二节 压力传感器芯片的封接方法 293
第三节 硅片与硅叶低温直接键合 304
第四节 封接材料的性质 308
参考文献 310
第九章 压力传感器的引线 312
第一节 压力传感器的引线键合 312
第二节 载带自动键合(TAB)技术 316
第三节 引线的可键合性与可靠性 326
第四节 引线间接触电阻的测量 333
参考文献 338
第十章 压力传感器的技术性能与选用 339
第一节 压力传感器的技术性能 339
第二节 压力传感器的选用 355
参考文献 365
第十一章 压力传感器的热漂移及其补偿技术 366
第一节 热零点漂移及其补偿技术 366
第二节 热灵敏度漂移及其补偿技术 382
第三节 用自平街电桥简单电路消除热零点和灵敏度漂移 389
参考文献 401
第十二章 压力传感器的信号调理 402
第一节 集成运算放大器简介 402
第二节 仪表放大器简介 425
第三节 压力传感器激励 432
参考文献 439
第十三章 压力传感器的智能化技术 440
第一节 MCS-51单片机系统概述 440
第二节 MCS-51单片机的指令系统 448
第三节 MCS-51单片机内部存储器 470
第四节 MCS-51单片帆内部的定时器/计数器 475
第五节 MCS-51单片机内部的并行输入/输出(I/O)口 481
第六节 MCS-51单片帆内部的串行口 485
第七节 MCS-51单片机的中断控制系统 490
第八节 智能化压力传感器的硬件设计 498
第九节 智能化压力传感器的软件设计 523
参考文献 539
第一节 膜片式电容型压力传感器 541
第十四章 其他种类压力传感器 541
第二节 压电型压力传感器 549
第三节 金属电阻应变式压力传感器 565
第四节 干涉光非接触式读出压力传感器 572
第五节 光纤压力传感器 578
参考文献 583
第十五章 压力传感器的应用 584
第一节 压力传感器的应用分类 584
第二节 LED显示排压力计 590
第三节 电池供电精密气压计 594
第四节 压力控制器 598
第五节 自动洗衣机中应用的压力传感器 602
第六节 自动补偿静压的压力传感器 604
第七节 压力传感器在液位测量中的应用 607
参考文献 611
附录 611
一、主要物理常数 611
二、单位换算表 612
1．长度单位换算 612
2．质量单位换算 612
3．力单位换算 612
4．功及能量单位换算 612
5．功率单位换算 612
6．压力单位换算 613
7．电磁单位换算 614
三、重要半导体的物理性质 614