第5篇 生产环境控制技术 3
第1章 电子工业的生产环境 3
1.1 生产环境 3
目录 3
1.1.1 空气 4
1.1.2 人身 4
1.1.3 水 5
1.1.4 各种气体 6
1.1.5 化学试剂 7
1.1.6 工具及器具 8
1.1.10 人-机关系 10
物质 10
1.2 影响产品生产的污染 10
1.1.9 工作环境 10
1.1.8 机械能量 10
1.1.7 电磁环境 10
1.2.1 微粒杂质 11
1.2.2 无机离子杂质 14
1.2.3 有机物质 16
1.2.4 微生物 16
1.2.5 气体杂质 18
1.2.6 空气的温度与湿度 19
1.2.7 电磁噪声 20
1.2.8 静电 20
1.2.1 0噪声 21
1.2.9 振动 21
1.3 电子产品生产对生产环 22
境的要求 22
1.3.1 对厂址选择与厂区布置的要求 22
1.3.2 对空气环境的要求 23
1.3.3 对纯水的水质要求 27
1.3.4 对常用气体纯度的要求 28
1.3.5 对室内人工照明照度的要求 30
第2章 空气环境控制 32
2.1 空气洁净度等级 32
2.2 空气中的尘粒 35
2.2.1 室外大气尘粒 35
2.2.2 洁净室内空气中的尘粒 36
2.3 空气洁净度的控制 37
2.3.1 洁净空间的型式 37
2.3.2 空气净化方法 38
2.3.3 气流组织 42
2.3.4 洁净室 43
2.4 空气温、湿度的控制 64
2.4.1 控制方式的选择 64
2.4.2 常用净化空调系统 64
2.4.3 调节方法 66
2.5 空气净化装置及附件 77
2.5.1 常用空气过滤器 77
2.5.2 净化空调器 84
2.5.3 局部净化设备 85
2.5.4 装配式洁净室 89
2.5.5 装配式洁净隧道 91
2.5.6 辅助设备及附件 92
2.6 洁净室的测定 94
2.6.1 风量的测定 95
2.6.2 风速和气流流型的测定 96
2.6.3 温、湿度的测定 97
2.6.4 正压值的测定 97
2.6.5 洁净度的测定 98
2.6.6 噪声的测定 102
2.7.2 清扫 103
2.7.1 洁净室内的尘源管理 103
2.7 维护管理 103
2.7.3 空气环境参数的监测 104
2.7.4 净化空调系统的运行管理 105
2.7.5 高效过滤器的更换 105
2.7.6 安全技术 107
第3章 人身净化 108
3.1 人员的发尘量 108
3.1.1 人员的发尘量及其污染程度 108
3.1.2 洁净服的发尘量 111
3.1.3 洁净服内着装对发尘量的影响 111
净化处理 112
3.2.1 净化处理的方法 112
3.2 人员进入洁净生产环境前的 112
3.2.2 吹淋室 113
3.3 洁净服 116
3.3.1 衣料 116
3.3.2 型式 116
3.3.3 制作 119
3.4 维护管理 119
3.4.1 洁净服的清洗 119
3.4.2 洁净服的检验 120
3.4.3 对洁净生产环境中工作人 120
员的要求 120
3.4.4 进入洁净生产环境的注意事项 120
3.4.6 在洁净室内活动的注意事项 121
3.4.5 走出洁净生产环境的注意事项 121
第4章 纯水的制取与输送 122
4.1 纯水的分类与水质指标 122
4.1.1 纯水的分类 122
4.1.2 水的电阻率及其换算 123
4.2 纯水系统 125
4.2.1 纯水制取系统 125
4.2.2 一级纯水系统 126
4.2.3 二级纯水系统 128
4.2.4 电子工业常用纯水系统 129
4.2.5 反渗透的设置 130
4.2.6 纯水的分配、循环和回收 130
4.3.1 离子交换树脂 133
4.3 离子交换技术 133
4.3.2 脱盐与再生 134
4.3.3 离子交换装置 137
4.3.4 离子交换装置设计 140
4.4 膜分离技术 142
4.4.1 反渗透 143
4.4.2 超过滤 149
4.4.3 微孔膜过滤 151
4.4.4 电渗析 153
4.5 其它处理技术 155
4.5.1 凝聚澄清 155
4.5.2 过滤 156
4.5.3 吸附法 157
4.5.4 软化 158
4.5.5 脱气 158
4.5.6 杀菌 159
4.6 纯水站 160
4.6.1 纯水站的组成及其布置 160
4.6.2 对有关专业的要求 161
4.6.3 纯水站的配置 161
4.7 纯水系统的维护管理 162
4.7.1 原水水质资料及其复核 162
4.7.2 预处理设备的管理 165
4.7.3 反渗透设备的管理 165
4.7.4 电渗析设备的管理 167
4.7.5 离子交换树脂的处理 169
4.7.6 纯水系统的杀菌 170
4.7.7 纯水系统的安装与维护 171
4.8 纯水水质的检测 172
4.8.1 电阻率 172
4.8.2 微粒 172
4.8.3 微生物 173
4.8.4 有机物 174
第5章 纯气的制取与输送 175
5.1 纯气的分类及纯度指标 175
5.2 常用气体的纯化方法 177
5.2.1 氢气的纯化 177
5.2.2 氮气的纯化 192
5.2.3 氧气的纯化 198
5.2.4 氩气的纯化 200
5.3 气体过滤 203
5.3.1 气体过滤器的种类 203
5.3.2 气体过滤器的选择 203
5.3.3 过滤材料 206
5.4 气体纯化系统的辅助设施 208
5.5 纯气供应方式 211
5.5.1 气体钢瓶供应系统 211
5.5.2 液态气体供气系统 212
5.5.3 现场制气装备、管道供气 212
5.5.4 供气方式的选择 213
5.6.2 纯化站的设置 214
5.6 气体纯化站 214
5.6.1 基础资料 214
5.6.3 纯化站平面布置 215
5.6.4 设备选型 215
5.6.5 对有关专业的要求 218
5.7 纯气的输送 220
5.7.1 输送系统的设置要点 220
5.7.2 输送系统的材料 221
5.7.3 材料的清洗 223
5.7.4 管道的连接 224
5.8 气体的检测 225
5.8.1 气相色谱法 226
5.8.2 微量氧分析 228
5.8.3 微量水分的测定 228
5.8.4 微粒的测定 231
5.9 维护与管理 231
5.9.1 纯气系统的维护 231
5.9.2 纯化设备的维护 232
5.9.3 安全技术 233
6.1.3 洁净生产用工具及器具 234
6.1.2 化学处理用工具及器具 234
6.1.5 其它物料 234
6.1.4 金属物料 234
分类 234
6.1 工具、器具及物料的 234
第6章 工具、器具及物料的净化 234
6.1.1 加热用工具及器具 234
6.2 净化方法 235
6.2.1 一般要求 235
6.2.2 常用清洗液的性质及其去污机理 235
6.2.3 常用工具、器具的净化方法 238
6.2.4 物料的净化 241
6.2.5 操作安全要点 241
6.3.1 贮存柜 242
6.3.3 手套及指套 242
6.3.2 容器 242
管理 242
6.3 制品的贮存、输送及 242
6.3.4 传送和运输 243
第7章 电磁环境控制 244
7.1 电磁环境工程 244
7.1.1 电磁环境 244
7.1.2 电磁干扰 244
7.1.3 强电磁环境 245
7.2 环境电噪声 245
7.2.1 环境电噪声的分类 245
7.2.2 高压电力线干扰噪声 246
7.2.3 电气化铁道干扰噪声 250
7.2.4 高频加热设备干扰噪声 251
7.2.5 大功率发射机干扰噪声 253
7.3.1 干扰波感应 256
7.3 干扰波的感应与辐射 256
7.3.2 干扰波辐射 257
7.3.3 微波天线近场区辐射功率 259
密度 259
7.4 电磁环境控制原理 262
7.4.1 电磁环境的控制途径 262
7.4.2 电磁屏蔽 263
7.4.3 电波吸收材料 272
7.5 强电磁辐射的防护 273
7.5.1 强电磁辐射 273
7.5.2 辐射危害界限电平推荐值 274
7.5.3 强电磁辐射防护 276
7.6 屏蔽室 279
7.6.1 屏蔽室的类型 279
7.6.2 屏蔽室的选择 280
7.6.3 P-22型双层金属网可拆卸式屏蔽室 280
7.6.4 PB-80系列单层钢板可拆卸式屏蔽室 280
7.6.5 屏蔽室的设置 280
7.7 电磁环境测量 283
7.7.1 环境电噪声测量 283
7.7.2 强电磁辐射测量 284
7.7.3 屏蔽室屏蔽效能的测量 284
8.1.1 起电机理 287
消散 287
8.1 静电的产生、积累与 287
第8章 静电防护 287
8.1.2 静电积累与消散 288
8.2 静电效应和危害 291
8.2.1 静电的效应 291
8.2.2 静电的危害 292
8.3 静电的消除 296
8.3.1 消除方法 296
8.3.2 静电防护措施 302
8.4 静电测量 303
8.4.1 静电测量的特点 303
8.4.2 测量仪表 303
8.4.3 容器中液体电位的测量 304
第9章 环境振动的控制 306
9.1 环境振动 306
9.1.1 地面脉动 306
9.1.2 人类活动的干扰振动 306
9.2 精密设备的容许振动 312
9.3 隔振材料及隔振器 314
9.3.1 软木 315
9.3.2 海绵乳胶 316
9.3.3 橡胶隔振器 317
9.3.4 金属弹簧隔振器 319
9.3.5 空气弹簧及其隔振装置 320
9.4 隔振措施 322
9.4.1 隔振措施分类 322
9.4.2 积极隔振 325
9.4.3 消极隔振 333
第6篇 环境保护 343
第1章 电子工业环境保护 343
1.1 环境保护的方针和任务 343
1.2 污染物的来源和危害 344
1.2.1 环境污染源 344
1.2.2 水质污染的危害 346
1.2.3 大气污染的危害 347
1.2.4 废液、废渣的危害 347
1.2.5 振动和噪声的危害 348
1.2.6 电磁辐射和激光辐射的危害 348
1.3.1 环境保护法规 349
1.3 环境保护法规与管理机构 349
1.3.2 污染治理的管理与监测 353
第2章 废水处理 355
2.1 电子工业废水的种类 355
2.1.1 废水中主要有害物质及来源 355
2.1.2 废水的分类 355
2.2 废水处理的基本工艺 357
2.2.1 混凝 357
2.2.2 中和 357
2.2.3 氧化、还原 361
2.2.4 化学沉淀 365
2.2.5 铁氧体共沉 369
2.2.6 离子交换 371
2.2.7 电解 376
2.2.8 吸附 379
2.2.9 浮选 380
2.2.10 过滤 381
2.2.11 生化处理 383
2.3 污泥处置 384
2.3.1 污泥浓缩 384
2.3.2 污泥脱水机械 385
2.3.3 污泥的处理和利用 387
2.4 废水处理装置的选择与计算 387
2.4.1 调节池 387
2.4.2 混合、反应池（槽） 388
2.4.4 沉淀池（槽） 389
2.4.3 絮凝池（槽） 389
2.4.5 离子交换装置 393
2.4.6 非金属耐腐蚀材料的选择 394
2.5 电子工业废水处理系 395
统及实例 395
2.5.1 彩色显像管总装工厂废水处理 395
2.5.2 荧光粉工厂废水处理 397
2.5.3 显像管玻璃工厂研磨废水处理 399
2.5.4 彩色显像管荫罩工厂废水处理 399
2.5.5 印刷电路板工厂废水处理 401
2.5.6 含氰、含铬电镀废水处理 403
2.5.7 电镀废水处理（槽内处理法） 404
2.5.8 电镀废水综合处理 405
处理 406
2.5.9 集成电路工厂芯片废水的 406
2.5.10 水力清砂废水处理 407
2.5.11 油裂解煤气废水处理 408
2.6 废水处理系统的维护管理 410
2.6.1 监测 410
2.6.2 维护管理 411
治理要求 413
3.1.1 废气的种类 413
3.1.2 废气的危害 413
3.1 废气的种类、危害和 413
第3章 废气治理 413
3.1.3 废气的治理要求 416
3.2 废气的排除 417
3.2.1 排风方式 417
3.2.2 排风装置 421
3.3 废气除尘 427
3.3.1 粉尘和除尘器 427
3.3.2 各类粉尘的净化 430
3.4 有害气体的净化 434
3.4.1 液体吸收法 434
3.4.2 其他气体净化法 440
3.4.3 各种有害气体的净化 444
3.5.1 废气的综合治理措施 453
3.5 废气的综合治理 453
3.5.2 废气的就地收集 454
3.5.3 废气的大气稀释 456
3.5.4 废气治理设备的维护管理 457
第4章 烟尘的防治 458
4.1 烟尘污染及危害 458
4.1.1 烟尘污染及来源 458
4.1.2 烟尘的危害 459
4.2 烟尘污染的防治 460
4.2.1 尘粒的防治 460
4.2.2 有害气体的防治 460
4.2.3 黑烟的防治 466
4.3.1 分类 468
4.3 除尘装置 468
4.3.2 常用除尘装置 470
4.4 除尘装置的选用 482
4.4.1 除尘装置的选用原则 482
4.4.2 烟气中尘粒的特性 482
4.4.3 烟气的性质及其变化 485
4.4.4 除尘装置的选用步骤 486
4.5 除尘装置的维护管理 487
4.5.1 除尘装置的运行 487
4.5.2 常用除尘装置的维护管理 487
4.6 除尘装置性能的监测 490
4.6.1 烟气特性的测定 490
4.6.2 烟尘浓度的测定 494
4.6.3 除尘装置性能的测试 495
5.1 废液、废渣的来源与危害 498
第5章 废液、废渣的回收及处置 498
5.2 废液的回收及处置 499
5.2.1 含氰废液 499
5.2.2 含铬废液 502
5.2.3 含重金属废液 505
5.2.4 含贵金属废液 513
5.2.5 含酸碱废液 517
5.2.6 电池废液 518
5.2.7 印制电路版腐蚀液的再生 518
5.2.8 彩色显像管荫罩腐蚀液的再生 519
5.2.10 电泳漆液的再生 520
5.2.9 荧光粉浆液的回收及再生 520
5.3 废渣、废料的利用及处置 521
5.3.1 电镀废渣 521
5.3.2 酸性蓄电池废料 521
5.3.3 碱性蓄电池废料 522
第6章 噪声控制 523
6.1 声的基本物理量及其噪声源 523
6.1.1 声的基本物理量 523
6.1.2 噪声的频谱 524
6.1.3 A声级 525
6.1.4 声压级的叠加 526
6.1.5 噪声源 526
6.2.1 声源的噪声控制 530
6.2 噪声控制方法 530
6.2.2 传播途径中的噪声控制 531
6.2.3 个人防护 531
6.3 隔声 531
6.3.1 隔声原理 531
6.3.2 隔声量的计算 532
6.3.3 隔声室（间） 533
6.3.4 隔声罩 533
6.3.5 隔声屏 534
6.3.6 隔声结构的选择 536
6.4 吸声 536
6.4.1 吸声量的计算 536
6.4.2 吸声材料及结构 537
6.4.3 吸声结构的选择及布置原则 539
6.5 消声 539
6.5.1 消声器的种类及特点 540
6.5.2 消声器的性能 543
6.5.3 消声器类型的选择 544
6.6 隔振 545
6.6.1 隔振与减少噪声的关系 545
6.6.2 隔振元件及隔振系统的选择 546
6.6.3 减振（振动阻尼） 547
6.7 噪声的测定 548
6.7.1 测量仪器 548
6.7.2 测量方法 549
6.7.3 等效A声级的计算 550