第1章 概述 1
1半导体材料的种类及其应用范围 1
2半导体材料的导电特性 1
3半导体材料的晶体结构 4
第2章 硅、锗1硅、锗单晶的基本参数和要求 5
2硅、锗单晶中的杂质及其对单晶和器件性能的影响 7
3硅、锗单晶中的晶体缺陷及其影响 13
4硅、锗器件工艺中常用的相图 14
5单晶片的加工 15
第3章 化合物半导体和固溶体半导体 18
1砷化镓 18
2其他Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体 21
3Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体 22
4Ⅳ-Ⅵ族化合物半导体及碳化硅 23
5几种固溶体半导体 23
第4章 单晶参数的测量和单晶中微量杂质分析 24
1导电类型的测定 24
2电阻率的测量 25
3非平衡少数载流子寿命的测量 28
4杂质补偿度等物理量的测量 29
5晶体缺陷的观测 31
6晶向的测定 31
7单晶中微量杂质分析 31
参考文献 32