目 录 6
序言 6
第一章绪论 7
§1．区域熔化及其应用范围 7
§2． 区域熔化在半导体冶金中的重要性 8
§3．区域熔化法的优越性和发展前途 8
第二章区域熔化的基本原理 10
§1．新相成长时的扩散过程 10
§2．分配系数 10
§3．定向结晶 11
第三章区域精炼 14
§1．区域精炼的实质 14
§2．熔区大小的选择 15
§3．熔区移动次数的决定 19
§4．熔区移动速度的决定 20
§5．熔区在锭上的移动方式 22
§6．关于锭的倾斜 25
第四章区域匀平 28
§1．区域匀平的意义和它的用途 28
§2．区域匀平的基本原理 28
§3．区域匀平的技术条件 31
§2．用区域精炼法制备超纯度锗的优越性 33
第五章用区域精炼法制备超纯度锗 38
§1．超纯度锗及其用途 38
§3．区域精炼提纯铝的主要设备 39
§4．操作过程 44
§5．对原料纯度的要求和提纯结果 48
§6．工作环境的整洁 49
§7．对区域精炼提纯锗中几个问题的计论 50
参考文献 53