导论 1
一、扫描电镜和电子探针发展历史的回顾 1
前言 5
二、发展前景 5
三、本书主题及概要 5
序言 6
第一章 电子与样品的相互作用 12
一、电子散射 12
二、电子作用区的物理模型 18
三、Bethe作用区和最大作用区 19
四、背散射电子 23
五、二次电子 28
六、电子与薄膜样品的相互作用 32
七、俄歇电子和阴极荧光 36
一、电子束品质与图象分辨率 42
第二章 缩小系统电子光学 42
二、磁透镜的光学特性 44
三、磁透镜的象差 47
四、球差和色差对束斑和束流的影响 52
五、电子束直径的计算 55
六、电子束极限直径 57
七、磁透镜的发展 58
一、镜简尺寸的选择 61
第三章 仪器的设计与操作 61
二、电子枪 62
三、物镜 71
四、光学元件的合轴 73
五、扫描器 74
六、扫描器位置的选择 77
七、图象显示与畸变 78
八、新的扫描显示技术 80
九、景深 83
一、样品室和样品台 86
第四章 样品室与真空系统 86
二、光学显微镜 90
三、真空系统及污染控制 94
四、电子束的稳定性及影响因素 99
第五章 图象信号的检测 108
一、散射电子对精细形貌检测的影响 108
二、背散射电子的检测 112
三、低损耗电子的检测 123
四、二次电子的检测 129
五、样品电流信号的检测 138
六、阴极荧光的检测 139
第六章 图象的信号噪声比(SNR) 148
一、图象的品质因素 148
二、成象束流的计算 153
三、检测系统的噪声 157
四、保证各类图象品质的束流的计算 162
第七章 图象信号的处理 167
一、黑电平抑制 168
二、非线性放大 169
三、图象信号的微分处理 175
四、图象信号的模数-数模转换 177
五、信号的Y调制处理 179
六、成分与形貌信息的分离 181
七、自动聚焦选择最佳图象信号 182
第八章 对比度机理 193
一、原子序数对比度 193
二、形貌对比度 197
三、电压对比度 199
四、磁对比度 207
五、电子束感生电流(EBIC)对比度 210
六、阴极荧光图象对比度 210
第九章 对比度与分辨率 218
一、获取高分辨率的措施 218
二、对比度与分辨率 220
三、导电样品的二次电子图象 226
四、绝缘样品的二次电子图象 230
五、发光图象 231
第十章 散射电子与样品电流图象 241
一、普通背散射电子图象 241
二、导电样品的低损耗电子图象 245
三、导电样品的样品电流图象 249
第十一章 电子普通花样 258
一、电子通道花样对比度机理 258
二、电子通道花样 263
三、通道花样的电子光学条件 265
四、信号的收集与处理 267
五、选区通道花样 268
六、多晶体的通道对比度 271
第十二章 X射线检测 279
一、X射线检测原理 279
二、探测器特性 280
三、探测器性能的比较 285
四、正比计数器 286
五、闪烁计数器 293
六、计数系统 294
七、X射线图象 300
第十三章 X射线光谱谱仪 305
一、布拉格定律与聚焦几何学 305
二、分光晶体 310
三、谱仪设计概要 318
四、可变曲率聚焦谱仪 321
五、直进式谱仪 323
六、光栅谱仪 327
第十四章 探针定量分析校正理论 338
一、非线性因素 339
二、阻止本领校正 342
三、背散射校正 348
四、吸收校正 355
五、荧光校正 363
六、校正计算程序 370
一、X射线能谱谱仪(EDS) 376
第十五章 X射线能谱法(EDX)微区定性分析 376
二、能谱分析中的各种虚假因素 385
三、X射线能谱法(EDX)微区定性分析 398
第十六章 X射线能谱法(EDX)微区定量分析 404
一、背景校正 404
二、重叠校正 407
三、X射线能谱定量分析的典型程序 410
四、相对K比值法的应用 414
五、人发微区硫和氯的定量分析实例 417
六、EDX与WDX检测极限的对比 421
第十七章 轻元素、超轻元素的分析 431
一、概论 431
二、校正计算 434
三、碳的污染 446
第十八章 薄膜分析 453
一、概论 453
二、薄膜定量分析 455
三、薄膜厚度的测量 465
第十九章 制样 478
一、常用制样技术 478
二、固体样品(岩石、金属、颗粒物等)制样 489
三、生物样品制样 492
第二十章 应用 507
一、金属学中的应用 507
二、材料学中的应用 509
三、地质和矿物学中的应用 510
四、月岩研究 513
五、机械学中的应用 514
六、微电子学中的应用 516
七、晶体结构学中的应用 518
八、动态试验中的应用 520
九、造纸工艺上的应用 521
十、法学鉴别中的应用 522
十一、生物学及医学中的应用 524