绪论 1
第一章 真空技术的物理基础 9
1-1 气体分子运动论的基本原理 9
1-2 麦克斯韦速度分配定律 12
1-3 最可几速率，平均速率及均方根速率 17
1-4 碰撞次数 24
1-5 自由程长度 31
1-6 自由程长度的分配规律 34
1-7 与容器器壁碰撞的分子数·余弦定律 38
1-8 迁移方程 43
1-9 气体的热传导 46
1-10 气体中的内摩擦 53
1-11 气体的扩散 58
1-12 滑动现象 66
1-13 温度剧增现象 71
1-14 低压气体的热传导 76
1-15 热流逸现象 78
1-16 热辐射现象 81
1-17 在高压强下气体沿导管的流动 82
1-18 在低压强下气体沿导管的流动 89
1-19 导管的流阻与流导 98
第二章 真空的测量 100
2-1 概述 100
2-2 U形真空计 102
2-3 静态变形真空计 106
2-4 压缩真空计(麦氏真空计) 106
2-5 热真空计 119
2-6 热阴极电离真空计 131
2-7 磁控放电真空计 141
2-8 放射性电离真空计 144
2-9 气体放电真空指示器 147
2-10 其他真空计 148
2-11 封闭电容器中真空度的测定 152
第三章 真空的获得 154
3-1 概述 154
3-2 真空抽气机的参量 156
3-3 测量抽气速率的方法 160
3-4 活塞抽气机 165
3-5 油封旋转抽气机 168
3-6 分子抽气机 192
3-7 双转子容积分子抽气机(罗茨泵) 195
3-8 蒸汽流抽气机 197
3-9 固体的吸气与放气 228
3-10 气体的吸附与吸收 229
3-11 促进固体吸气的因素 237
3-12 真空技术中所应用的材料与主要气体的相互作用 238
3-13 吸气剂 241
3-14 捕集器(阱) 247
3-15 用加热法去气 257
第四章 真空系统的检漏法 262
4-1 概述 262
4-2 检漏法·检漏器 265
第五章 真空系统和真空设备 281
4-3 漏气量的确定·标准漏孔 281
5-1 对真空系统的基本要求 284
5-2 真空系统的主要材料 284
5-3 真空系统的连接方法 290
5-4 真空系统的零件 306
5-5 真空密封物质 312
5-6 真空系统的各种形式 315
5-7 真空系统的安装、调试、运用和维护 328
5-8 真空系统的计算和设计 333
6-1 概述 374
第六章 超高真空技术 374
6-2 超高真空的测量 376
6-3 超高真空的获得 391
6-4 超高真空系统 410
附录 420
1 国外机械旋转真空泵规范简明表 420
2 喷射油汽油气机与辅助抽气机的特性 421
3 国外蒸汽流泵规范简明表(苏联产品) 422
4 蒸汽流泵用的几种油的性质 424