第1章 概述 1
1.1 传感器的组成与分类 1
1.2 传感器的性能指标 8
1.3 传感器的标定 13
1.4 传感检测技术的作用和发展 15
思考与练习 20
第2章 位移、速度、流量传感器 21
2.1 参量型位移传感器 21
2.2 光栅磁栅位移传感器 31
2.3 速度、加速度传感器 34
2.4 物位流量流速传感器 42
2.5 位移传感器的应用 46
思考与练习 47
第3章 力传感器 48
3.1 测力传感器 48
3.2 扭矩传感器 57
3.3 压力传感器 60
3.4 力传感器应用实例 67
思考与练习 69
第4章 温度传感器 71
4.1 热电式温度传感器 72
4.2 电阻式温度传感器 78
4.3 非接触式温度传感器 82
4.4 半导体集成温度传感器 85
4.5 温度传感器应用实例 88
思考与练习 93
第5章 气敏、湿度传感器 94
5.1 气敏传感器 94
5.2 湿度传感器 102
5.3 水分传感器 109
5.4 气敏和湿度传感器应用实例 113
思考与练习 117
第6章 光电传感器 118
6.1 光电效应及光电器件 119
6.2 红外传感器 126
6.3 激光传感器 130
6.4 光纤传感器 134
6.5 光电传感器应用实例 138
思考与练习 141
第7章 视觉传感器 142
7.1 光导视觉传感器 143
7.2 CCD视觉传感器 144
7.3 CMOS视觉传感器 151
7.4 人工视觉 155
7.5 视觉传感器应用实例 160
思考与练习 166
第8章 新型传感器 167
8.1 机器人传感器 167
8.2 生物传感器 183
8.3 微波传感器 188
8.4 超声波传感器 190
8.5 新型传感器应用实例 192
思考与练习 194
第9章 传感检测系统 195
9.1 传感检测系统的组成 195
9.2 传感器检测信号处理 196
9.3 传感器的微机接口 198
9.4 传感器网络 203
9.5 传感器接口电路应用实例 206
思考与练习 215
第10章 传感器在机电一体化系统中的应用 216
10.1 传感器在工业机器人中的应用 216
10.2 传感器在CNC机床与加工中心中的应用 219
10.3 传感器在汽车机电一体化中的应用 221
10.4 传感器在家用电器中的应用 230
思考与练习 232
参考文献 233