第1章ZnO概述 3
1.1引言 3
1.2 ZnO的基本性质 4
1.3 ZnO的能带结构 6
1.4 ZnO的形态及制备技术 9
ZnO体单晶 9
ZnO薄膜 11
ZnO纳米结构 15
1.5 ZnO的发光特性 16
1.6 ZnO的缺陷与掺杂 18
1.7 ZnO的应用 19
参考文献 21
第2章ZnO中的缺陷和非故意掺杂 31
2.1 ZnO薄膜中的层错、位错和晶界 31
ZnO薄膜的原生层错和扩展位错 31
ZnO薄膜中退火诱生层错 34
退火诱生缺陷的显微结构与形成机理 36
ZnO中的晶界 38
2.2 ZnO中的本征点缺陷 44
2.3 ZnO中绿色发光起源 47
2.4 ZnO中的氢杂质 48
氢在ZnO中作为施主 49
氢对ZnO p型掺杂的影响 49
参考文献 50
第3章ZnO透明导电薄膜 55
3.1 Ⅲ族元素掺杂 55
B元素掺杂 56
A1元素掺杂 56
Ga元素掺杂 63
In元素掺杂 65
ⅢB族元素掺杂 66
3.2其他族元素掺杂 66
Ⅳ族元素掺杂 66
Ⅴ族元素掺杂 67
Ⅵ族元素掺杂 68
Ⅶ族元素掺杂 68
La系元素掺杂 69
3.3 ZnO透明导电薄膜的应用 69
参考文献 71
第4章ZnO的p型掺杂 77
4.1本征p型ZnO 77
4.2 I族元素掺杂p型ZnO 80
IA族元素掺杂 81
IB族元素掺杂 86
4.3 V族元素掺杂p型ZnO 88
N元素掺杂 89
P元素掺杂 94
As元素掺杂 96
Sb元素掺杂 97
4.4 H辅助掺杂技术 99
4.5施主—受主共掺杂p型ZnO 104
A1-N共掺杂技术 106
Ga-N共掺杂技术 112
In-N共掺杂技术 113
其他共掺杂技术 116
4.6双受主共掺杂技术 116
参考文献 120
第5章ZnO基合金半导体 129
5.1能带调节工程 129
5.2 ZnMgO合金半导体 131
ZnMgO的晶体结构 131
ZnMgO薄膜研究现状 132
ZnO／ZnMgO异质结、超晶格与多量子阱 135
ZnMgO薄膜的p型掺杂 137
ZnMgO薄膜的n型掺杂 140
5.3 ZnCdO合金半导体 142
ZnCdO合金晶体结构 143
ZnCdO薄膜研究现状 143
参考文献 146
第6章ZnO稀磁半导体 153
6.1 ZnO稀磁半导体磁性来源及机理 153
6.2 ZnO稀磁半导体的掺杂体系 155
Mn掺杂ZnO基DMS 155
Co掺杂ZnO基DMS 156
6.3 ZnO稀磁半导体的应用 159
参考文献 161
第7章ZnO半导体器件 165
7.1 ZnO发光二极管 165
MIS结构LED 165
ZnO异质结LED 166
ZnO同质结LED 167
ZnO基PIN结LED 171
ZnO多量子阱LED 173
ZnO激光器 174
7.2 ZnO紫外光电探测器 175
ZnO光电导紫外探测器 175
ZnO光伏型紫外探测器 178
7.3 ZnO薄膜晶体管 181
7.4 ZnO的其他应用 184
ZnO压电器件 184
ZnO气敏元件 185
ZnO压敏器件 186
参考文献 187