第一章 总论 1
第二章 直接光交联型感光树脂 3
第一节 重铬酸胶 3
一、重铬酸胶的组成及其种类 3
二、重铬酸胶的感光特性 4
三、重铬酸胶的若干新发展 6
四、使用重铬酸胶的安全知识 7
第二节 光二聚化型感光树脂 7
一、肉桂酸酯类 8
二、肉桂叉系感光树脂 14
（一）肉桂叉乙酸酯类 14
（二）肉桂叉丙二酸酯 16
三、其他含肉桂叉基感光树脂 17
四、具α-，β-不饱和酮基的感光树脂 17
五、苯乙烯基吡啶型 20
六、含马来酰基的感光树脂 20
七、其他光二聚化型感光树脂 21
第三章 光聚合型感光树脂 25
第一节 单体和光源以及增感剂的选择 26
一、单体 26
二、光源 26
三、增感剂 30
（一）含羰基化合物 30
（二）过氧化物 32
（三）含硫化合物 32
（四）含氮有机化合物 33
（五）含卤素化合物 33
（六）色素（染料）的增感 33
（七）其他 34
第二节 光聚合型感光树脂的组成及其应用 34
一、丙烯酰类单体＋聚合物体系 34
（一）丙烯酰类单体＋饱和性聚合物体系 34
（二）丙烯酰类单体＋不饱和聚酯体系 46
二、含丙烯酰基的感光树脂 52
三、以烯丙基为感光基的感光树脂 56
四、含苯乙烯基的感光性聚合物 59
五、其他光聚合型感光树脂 60
第四章 光分解型感光树脂 63
第一节 重氮系感光树脂 63
一、重氮盐类 63
（一）重氮盐的基本特性 63
（二）重氮盐＋聚合物体系 64
（三）含重氮基聚合物 66
二、重氮醌类 68
（一）邻—重氮醌 68
（二）对—重氮醌类 74
（三）对—亚氨基重氮醌类 74
第二节 以叠氮基为感光基的感光树脂 75
一、叠氮化合物＋聚合物体系 76
（一）橡胶系抗蚀剂 79
（二）聚环乙二烯系 82
（三）酚醛树脂系抗蚀剂 82
（四）醇酸树脂系抗蚀剂 83
（五）聚乙烯醇衍生物系抗蚀剂 83
（六）（甲基）丙烯酸酯及其衍生物的共聚体系 84
（七）聚氯乙烯系感光性组成物 84
（八）环氧氯丙烷衍生物系抗蚀剂 84
（九）水溶性叠氮型抗蚀剂 84
二、叠氮聚合物 85
第三节 其他光分解型感光树脂 91
一、含卤素化合物 91
二、含硫有机化合物 92
第五章 其他类型的感光树脂 94
一、含炔键感光树脂 94
二、含硝基的感光树脂 95
三、若干特殊的感光性组成物 95
参考文献 97