第1章 洁净室的检测类别与项目 1
1．1洁净室检测的类别 1
1．2洁净室的竣工验收 2
1．2．1竣工验收的外观检查 2
1．2．2竣工验收的调试工作 2
1．2．3竣工验收的检测项目 3
1．2．4竣工验收所需文件 3
1．3洁净室综合性能评价 3
1．3．1 ISO-14644所规定的检测项目 4
1．3．2 NEBB所规定的检测项目 4
1．3．3国内相关标准所规定的测试项目 5
1．4洁净室的性能监测 6
1．4．1国际标准ISO 14644-2的规定 7
1．4．2国家标准GB 50073—2001关于监测的规定 7
1．5洁净室测试时所处的状态 8
复习思考题 10
第2章 空气中悬浮粒子的测试 11
2．1测试的准备工作 11
2．2采样点的位置及数量 11
2．3各采样点的单次采样量 12
2．4空气中悬浮粒子浓度的采样及数据整理 13
2．4．1空气中悬浮粒子浓度的统计计算原则 14
2．4．2一个采样点平均数字浓度（？i）的计算方法 14
2．4．3 95％置信上限的计算方法 14
2．5洁净度级别的计算例题 15
2．5．1例题1 15
2．5．2例题2 18
2．6空气中悬浮粒子的一些特殊检测方法 20
2．6．1顺序采样法 20
2．6．2空气中悬浮超微粒子和宏粒子计数 22
附录1 ISO 14644洁净度及洁净区按所定悬浮粒子的洁净度分级 23
附录2 ISO 14644洁净度分级的粒子浓度限值图 23
附录3 国家标准GB 50073—2001洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级 24
复习思考题 24
第3章 洁净室、洁净区的气流、压差与检漏测试 25
3．1气流测试 25
3．1．1单向流洁净室或设施的风速测定 25
3．1．2用风罩法测定非单向流洁净室或设施的风量 27
3．1．3非单向流洁净室的其他风量测定方法 28
3．1．4风速、风量测试评定标准 32
3．1．5单向流风速测定例题 33
3．2压差测试 35
3．3高效过滤器检漏 36
3．3．1当高效过滤器安装在顶棚、墙上或设备上时的检漏测试 37
3．3．2高效过滤器安装在管道或空气处理机上时过滤器的整体检漏 42
3．3．3检漏测试报告 43
3．4气流目检 43
3．4．1气流目检的方法 43
3．4．2气流目检的操作 44
3．4．3关于气流流型的测点布置 44
3．4．4测试报告 45
3．5温度与湿度测试 45
3．5．1一般温、湿度测试 45
3．5．2综合温、湿度测试 46
3．5．3测试报告 46
3．6自净性能测试 46
3．6．1自净性能或自净时间的定义 47
3．6．2用粒子浓度变化率评估自净性能 48
3．6．3直接测量自净时间 48
3．6．4测试报告 49
3．7污染渗漏测试 49
3．7．1使用离散粒子计数器测试污染渗漏 49
3．7．2使用气溶胶光度计测试污染渗漏 49
3．7．3测试报告 50
3．8粒子沉积测试 50
3．8．1测量采样板上沉积粒子的获取方法 50
3．8．2测量采样板上沉积粒子的计数和粒径确定 50
3．8．3测量采样板材料与测试仪器 51
3．8．4测试报告 51
3．9洁净室的噪声、微振与照度的测试 52
3．9．1相关的标准与规定 52
3．9．2噪声、微振与照度的检测 53
3．10静电测试 54
3．10．1相关的规范规定 54
3．10．2静电测试方法 54
复习思考题 55
第4章 检测仪器、仪表与方法 57
4．1光散射离散粒子计数器 57
4．1．1用于现场检测的便携式激光粒子计数器 57
4．1．2用于洁净环境实时监控的激光粒子计数器及相关设备 62
4．1．3凝聚核粒子计数器 66
4．2气流测试仪表 67
4．2．1风速测量仪表 67
4．2．2压差测定常用仪表 73
4．2．3气流目测的仪器 77
4．3高效空气过滤器安装后的检漏 80
4．3．1检漏测试所用的气溶胶 80
4．3．2检漏测试所用的设备 81
4．4温、湿度、照度、噪声等参数的测量 84
4．4．1温度测量仪表 84
4．4．2湿度测量仪表 88
4．4．3照度与噪声测试仪表 93
4．5静电和离子生成器测试仪表 94
4．6 ISO 14644关于洁净设施测试的顺序与仪器 96
复习思考题 99
第5章 生物污染控制与微生物检测 100
5．1微生物污染控制的手段与方法 100
5．2生物污染控制原则 102
5．2．1微生物危害评价与控制体系的内容 102
5．2．2生物污染监测 102
5．3生物污染的检测采样 103
5．3．1生物污染的检测采样仪器的选择原则 103
5．3．2采样计划的制定 104
5．4生物污染数据的评价 109
5．4．1初始检测阶段对生物污染数据的评估 109
5．4．2日常监测阶段所得生物污染数据的估算与评价 110
5．4．3沉降测值与浮游测值的关联 111
5．5传统的微生物采样计数设备 114
5．5．1沉降法采样装置 115
5．5．2撞击法空气微生物采样器 116
5．5．3碰撞式采样法 119
5．5．4过滤法 119
5．5．5大容量法 120
5．5．6表面微生物的测试方法 121
5．6环境微生物的快速测定法 121
5．6．1目前使用的几种微生物快速测定法 122
复习思考题 129
第6章 洁净室性能测试报告的实例 131
6．1检测报告的基本内容 131
6．2检测报告的目录及实例 131
第7章 洁净室污染控制分析与策略 154
7．1查清洁净室污染源与传播途径 154
7．1．1污染源 154
7．1．2污染传播的途径 156
7．1．3污染风险分析和控制措施图 156
7．2危害性分析 157
7．3制定危害控制与监测方法 159
7．3．1制定危害控制的方法 159
7．3．2监测采样与控制方法 162
7．3．3制定报警值和行动值 163
复习思考题 163
第8章 洁净室的制度与纪律 164
8．1严格控制进入洁净室的人员 164
8．1．1对洁净室工作人员的基本要求 164
8．1．2对洁净室维修人员和服务人员的基本要求 166
8．2洁净室内需遵守的纪律 167
8．2．1防止沿通道逆向气流增加污染 167
8．2．2防止工作人员在洁净室内的不当动作增加污染 168
8．2．3防止洁净室内材料使用不当而增加污染 170
8．3洁净室工作人员的教育培训 171
8．3．1参与培训的人员 171
8．3．2培训课程的内容 172
8．3．3对洁净室人员行为的监控 175
8．4洁净室工作制度与纪律示例 175
天津某知名合资电子企业洁净室工作守则（试用版） 175
复习思考题 177
第9章 人员进出洁净室与洁净服装 178
9．1人员进入洁净室的清洁流程 178
9．1．1到达洁净室前 178
9．1．2更换洁净服 178
9．1．3离开洁净室的更衣程序 181
9．2洁净服 182
9．2．1人员散发的污染物来源与传播途径 182
9．2．2洁净服的设计与制作 190
9．2．3洁净室服装的处理与更换 196
9．2．4洁净服测试 198
9．3洁净室用面罩、头盔、手套 201
9．3．1洁净面罩与头盔 201
9．3．2洁净室手套 203
9．4动力排风式头盔 207
复习思考题 208
第10章 进入洁净室的材料、设备和机器 209
10．1洁净室用材的选择 209
10．2外部供应的物品及其包装 210
10．3通过气闸室传递物品和小件设备 211
10．4洁净室固定设备的进入、安装与维修 213
复习思考题 217
第11章 洁净室的日常清洁工作 218
11．1洁净室日常清洁的必要性 218
11．2表面物理清洁方法 219
11．3洁净室用清洁用具及操作方法 220
11．4洁净室清洁用液体 224
11．5清洁表面和清洁级别的分类 226
11．6洁净室日常清洁方法 229
11．7清洁工作的计划与安排 232
复习思考题 236
附录 ISO 14644系列、ISO 14698系列标准术语和定义汇编 237
附录一 按ISO 14644， ISO 14698系列标准的序号，汇集各标准的“术语与定义” 238
附录二 ISO 14644， ISO 14698系列标准按汉语拼音排序的“术语与定义” 253
附录三 ISO 14644， ISO 14698系列标准按英文字母排序的“术语与定义” 265
参考文献 277