绪论 11
第一章 真空技术的物理基础(一)--气体分子运动论 11
1-1 气体分子运动论的基本原理 11
1-2 气体的压强 20
1-3 气体分子的速率分布--麦克斯韦速率分布律 24
1-4 平均自由程与碰撞截面 28
1-5 自由程长度分布律 38
1-6 电子在电极间的碰撞次数分布律 42
1-7 电子碰撞气体引起的电离 48
1-8 单位时间碰壁数(碰撞频度) 50
1-9 分子从表面的反射--余弦定律(克努曾定律) 52
1-10 气体中的输运现象 54
1-11 低压气体中的输运现象 70
1-12 热流逸现象 78
1-13 分子辐射计力 83
1-14 气体在管道中的流动 85
1-15 气体通过小孔的流动 92
1-16 流导与流阻、传输几率 93
2-1 概述 101
第二章 真空技术的物理基础(二)--固-气界面现象 101
2-2 固体及其表面 103
2-3 固体表面对气体分子的作用力 105
2-4 物理呼附与化学吸附 109
2-5 吸附速率 114
2-6 脱附速率 122
2-7 吸附等温线 125
2-8 朗廖尔吸附等温线 130
2-9 多分子层吸附等温线(BET等温线) 133
2-10 其他吸附等温式 136
2-11 混合气体的吸附--冷捕集与置换 141
2-12 表面迁移 147
2-13 管道有吸附作用时的非稳定气体流 151
2-14 气体在固体中的溶解、渗透与扩散 156
2-15 电子轰击固-气界面 165
2-16 离子轰击固-气界面 180
第三章 真空获得 198
3-1 概述 198
3-2 旋转机械真空泵 202
3-3 蒸汽流扩散泵 207
3-4 低温吸附泵 219
3-5 钛升华泵 227
3-6 热阴极吸气离子泵 232
3-7 溅射离子泵 238
3-8 涡轮分子泵 251
3-9 低温泵 261
3-10 容积吸气剂泵 266
3-11 超高真空获得技术 267
3-12 抽气速率的测量 275
第四章 真空的测量 278
4-1 概述 278
4-2 U形真空计和压缩真空计 281
4-3 热传导真空计 289
4-4 热阴极电离真空计 300
4-5 超高真空热阴极电离真空计 316
4-6 自持放电型真空计 334
4-7 分压强真空计 342
4-8 其他真空计 360
4-9 电真空器件内部真空度的测量 369
4-10 相对真空计的校准 371
4-11 真空测量技术 375
第五章 真空检漏 379
5-1 概述 379
5-2 检漏基本原理 382
5-3 压力检漏法 389
5-4 真空检漏法 391
5-5 其他检漏方法 407
5-6 标准漏孔、漏气量的测定 412
5-7 探查法检漏的理论 416
第六章 真空系统 421
6-1 概述 421
6-2 真空系统的材料 432
6-3 真空系统的零件 437
6-4 真空系统的组装技术 444
6-5 典型真空系统举例 454
6-6 真空系统的计算 458