目 录 1
绪论 1
第一节金刚石的结构、性能与应用 1
二、金刚石膜的后处理 16 2
第二节 气相生长金刚石的工艺发展过程 9
一、气体活化方法及设备 11
第三节气相生长金刚石的工艺研究现状 11
二、气体成分与配比 17
第四节气相生长金刚石的机理研究 22
第一章低温等离子体的性质 30
第一节等离子体的分类 30
第二节低温等离子体的热流体力学性质 32
一、等离子体的温度 32
二、等离子体的电导 34
三、等离子体的传热 37
四、热流体力学问题 40
五、等离子体传热的微观机制 42
六、等离子体的焓 47
三、激光拉曼散射方法的应用 1 48
七、等离子弧柱中的热绕流 48
八、等离子体的流动与热泳现象 52
一、洛伦兹力场中的热驱动流 56
第三节低温等离子体的电磁学性质 56
二、气体的电离与电流密度 60
三、电子在电场中的扩散 63
四、等离子体流与磁场的相互作用 65
五、等离子体的电磁辐射与碰撞 73
第四节电弧等离子体的特性 77
一、电弧等离子炬 77
二、电弧的分流与脉动 80
三、电极材料的选择 85
四、电极过程 86
五、电弧等离子体的热力学性质 90
六、高频与燃烧等离子炬 92
第一节 电源设计与输出伏安特性 96
第二章等离子体喷射气相生长金别石的设备 96
一、等离子炬的负阻特性 96
二、电源的下降型输出伏安特性 99
三、气体的放电特性 102
四、电源的设计 105
第二节真空与气体控制系统 109
一、真空及水冷系统 109
二、气体控制系统 112
第三节安全保护系统 114
一、非安全因素及其防止 114
二、控制电路系统 119
第四节适用于气相生长金刚石的等离子炬 122
一、高焓电弧加热器 122
二、气相生长金刚石的等离子炬 124
三、增加金刚石生长面积与提高内在质量的技术措施 130
四、大截面柔性弧等离子炬 136
第五节提高热效率的途径 138
第三章等离子体喷射气相生长金刚石的工艺 142
第一节气体浓度的影响 142
一、气体的计量 142
二、气体浓度对金刚石内在质量的影响 145
第二节等离子体能量密度的影响 152
一、等离子体能量密度对金刚石生长速率的影响 152
二、等离子体能量密度的变化以及对金刚石质量的影响 154
第三节等离子体喷射气相生长金刚石的工艺发展 159
一、强化基片冷却与前处理 159