第一章 超精研抛概述 1
一、超精研抛技术的发展 1
二、超精研抛概念 7
三、超精研抛运动原理 11
四、超精研抛特性 14
五、超精研抛加工的特点 18
六、超精研抛技术与国内外同类技术的比较 22
第二章 超精研抛机理 25
第三章 超精研抛轨迹与超精研抛区表 32
一、超精研抛轨迹 32
二、超精研抛区表的讨论 38
三、超精研抛轨迹特征曲线 76
四、超精研抛轨迹各点的线速度与方向 91
五、超精研抛区表与最佳超精研抛轨迹的选择 92
第四章 超精研势表面粗糙度与精度 94
一、超精研抛表面粗糙度 94
二、超精研抛加工精度 101
第五章 超精研抛工艺 103
一、超精研抛具 103
二、研抛头材料 105
三、研抛头的形状与尺寸 111
四、超精研抛头的修整 112
五、超精研抛液 114
六、超精研抛加工用量 117
七、超精研抛注意事项 121
第六章 超精研抛运动方案的比较 123
参考文献 126