目录 1
第三篇 典型仪器设计 1
第七章 万能工具显微镜设计 1
§7-1 工具显微镜概述 1
§7-2 几种万工显的构造原理及特点 2
一、19JA型万工显 2
二、UMM型万工显 8
三、JGW—1S型万工显 10
四、带计算机的UWM200×100型万工显 13
§7-3 万工显总体方案的确定 16
一、纵、横向测量范围的确定 16
二、立柱倾斜范围的确定 16
三、瞄准显微镜的放大率，视场及工作距离的选择 16
四、分划值的确定 16
五、被测工件几何尺寸及重量 16
六、纵、横向滑台的布局 17
七、阿贝原则的运用 17
八、基本组成部件及布局 18
九、仪器的精度 19
§7-4 万工显光学系统参数确定及轮廓尺寸计算 20
一、瞄准显微镜光学系统 20
二、测角读数显微镜光学系统 26
三、投影读数光路 28
§7-5 万工显主要零部件的结构分析与设计 32
一、瞄准定位部分 32
二、导轨及其支承 36
一、影响精度的主要因素 39
§7-6 万工显的精度分析 39
三、底座 39
二、19JA型万工显的精度计算 49
§7-7 万工显的附件 54
一、光学分度台 54
二、光学分度头 54
三、测量刀 54
四、光学定位器 57
五、内测装置 59
六、干涉条纹法瞄准装置 62
一、概况 65
§7-8 三座标测量机 65
二、三座标测量机的组成 67
三、结构型式 68
四、机械结构分析 69
五、测头 71
六、测量系统 75
七、精度分析 77
三、分度头主要组成部分与布局 81
二、仪器的主要组成部分 81
一、仪器的技术指标 81
§8-1 仪器的技术指标及总体布局 81
第八章 1″数字式光栅分度头 81
§8-2 光栅及读数头设计 82
一、主光栅设计 82
二、读数头设计 84
三、仪器的光学系统及“分”计数原理 88
§8-3 细分机构——弹性鼓设计 89
一、对细分机构的要求 89
二、测微方案分析 90
三、弹性鼓设计 91
四、细分机构的放大倍数 97
五、细分机构的精度分析 97
六、弹性鼓测微精度的检查方法 100
七、度、分、秒的配合 101
§8-4 主轴系统设计 102
一、主轴系统的作用与要求 102
二、主轴设计 102
三、主轴轴承设计 103
二、锁紧机构分析 107
一、对分度头锁紧装置的要求 107
§8-5 主轴锁紧机构设计 107
三、“抱”轴式锁紧机构 108
§8-6 光栅度盘与主轴同心度的调整 108
一、初调 108
二、精调 109
§8-7 光栅度盘误差的修正 110
第九章 投影仪与光洁度仪器 113
§9-1 投影仪 113
一、概述 113
二、光学系统 114
三、几种典型投影仪 119
§9-2 光洁度仪器 126
一、概述 126
二、光切显微镜 127
三、干涉显微镜 134
四、激光散斑在测量表面光洁度方面的应用 149
第十章 干涉计量仪器 154
§10-1 干涉仪概述 154
§10-2 干涉仪的设计 158
一、光源的选择与照明系统 159
二、基本干涉体系设计要点 165
三、人眼和光电元件作为接收器时需要考虑的问题 178
四、机械结构的要求与特点 184
五、总体设计举例——激光球面干涉仪的总体设计 185
§10-3 激光干涉测长仪器 192
一、概述 192
二、激光干涉测长系统 193
三、一米激光测长机 201
四、双频激光干涉仪 212
第四篇 光学计量技术与仪器的新领域 219
第十一章 相干光计量技术 220
§11-1 概述 220
§11-2 全息计量技术 221
一、概述 221
二、全息术的原理与理论 221
三、全息干涉计量方法 229
四、全息实用技术 239
二、计算全息图的原理 240
一、概述 240
§11-3 计算机全息计量 240
三、计算全息图的产生 242
四、计量方法 242
§11-4 激光散斑计量技术 244
一、概述 244
二、散斑的形成 244
三、变形时散斑的变化 245
四、散斑的干涉 247
五、散斑变化的检测 249
六、散斑计量方法 250
七、实用技术 255
§11-5 衍射计量技术 256
一、计量原理 256
二、应用 256
第十二章 莫尔等高线计量技术 260
§12-1 概述 260
§12-2 莫尔等高线的形成 260
§12-3 格栅照射法 262
§12-4 格栅投影法 263
一、假条纹的消除 264
§12-5 实用技术 264
二、莫尔条纹变形部分检测 265
三、等高线间隔变化法 266
四、凹凸的判定 266
五、扫描莫尔法 266
§12-6 应用 268
一、莫尔测定机 268
二、莫尔等高线显微镜 268
四、其他方面 269
三、医学上的计量 269
第十三章 光扫描计量技术 270
§13-1 激光扫描计量 270
一、计量原理 270
二、装置概要 271
三、空间调制扫描计量 273
§13-2 三维扫描计量 277
一、激光测头 277
二、二维曲面测量 278
三、三维扫描计量 280
第十四章 信息与遥感计测技术 284
§14-1 概述 284
§14-2 信息计测技术 284
一、光传感器 284
二、图象信息计测 287
§14-3 遥感计测技术 294
一、遥感技术基础 294
二、多波段遥感技术 295
三、遥感技术的主要内容与仪器 295