目录 1
第一章 Ⅲ-Ⅴ族半导体材料及其在器件中的应用 1
第一节 概述 1
第二节 Ⅲ-Ⅴ族材料及性能简介 3
一．二元Ⅲ-Ⅴ族材料 4
二．三元Ⅲ-Ⅴ族材料 11
三．四元Ⅲ-Ⅴ族材料 21
第三节 Ⅲ-Ⅴ族化合物器件 27
一．异质结激光二极管和发光二极管 27
二．负电子亲和势（NEA）器件 38
三．Ⅲ-Ⅴ族材料（GaAs）在场效应晶体管中的应用 44
第二章 半导体材料的异质外延 47
第一节 半导体材料的异质外延技术 50
第二节 异质外延GaAs膜的特性 58
第三节 异质外延材料在器件方面的应用 69
第三章 电子材料制备中的OMCVD技术 73
第一节 OMCVD技术的一般特点 73
第二节 OMCVD生长过程及其参数控制 80
第三节 对于源的讨论 85
第四章 等离子体技术在电子材料合成与加工中的应用 88
第一节 等离子体技术简介 88
第二节 应用等离子体技术的两个实例 93
一．无定形硅太阳能电池 93
二．干法腐蚀技术 104
参考文献 111