目录 1
第一章 绪论 1
§1.1 声表面波技术的发展史 1
§1.2 声表面波器件存在的问题 4
§1.3 声表面波滤波器 5
§1.4 延迟线 9
§1.5 声表面波振荡器 10
§1.6 结束语 11
参考文献 12
第二章 声表面波基础 13
§2.1 声表面波 13
2.1.1 弹性波 13
2.1.2 瑞利波 14
2.1.3 瑞利波的激励 16
2.1.4 声表面波的种类及其传播特性 17
§2.2 光刻 20
2.2.1 光刻 22
2.2.2 叉指换能器的制作 25
§2.3 设计 32
2.3.1 叉指换能器的几种模型及其等效电路 33
2.3.2 声表面波滤波器的设计 41
2.3.3 声表面波滤波器的使用方法 48
§2.4 测量方法 52
2.4.1 材料常数 52
2.4.2 器件的综合特性(以滤波器特性为主) 59
2.4.3 插入损耗 62
2.1.4 利用射频短脉冲群测量 64
参考文献 65
第三章 声表面波材料 77
§3.1 概述 77
3.1.1 声表面波器件用的压电基片的必备条件 77
3.1.2 各种压电基片材料 78
§3.2 单晶 83
3.2.1 LiTaO3单晶 86
3.2.2 LiNbO3单晶 93
3.2.3 Bi12GeO20单晶 96
3.2.4 石英单晶 98
§3.3 薄膜 99
3.3.1 薄膜材料的特长 100
3.3.2 薄膜材料的种类及其形成方法 101
3.3.3 ZnO压电薄膜 102
§3.4 陶瓷 114
3.4.1 各种压电陶瓷材料的基本特性 115
3.4.2 PZT系压电陶瓷材料 119
3.4.3 表面状态与致密度的提高 126
3.4.4 极化与声表面波特性 129
3.4.5 材料性能的重复性和均匀性 132
参考文献 135
第四章 声表面波应用 142
§4.1 概述 142
§4.2 滤波器 146
4.2.1 调频(FM)调谐器用的滤波器 146
4.2.2 电视机用的声表面波滤波器 149
4.2.3 通信机用的滤波器 159
§4.3 延迟线 176
4.3.1 非色散型延迟线 176
4.3.2 抽头延迟线 181
4.3.3 色散延迟线 183
§4.4 声表面波振荡器 194
4.4.1 原理 194
4.4.2 振荡器的应用 196
4.5.2 器件的结构 197
4.5.1 原理 197
§4.5 声表面波放大器 197
§4.6 非线性器件 200
4.6.1 声表面波卷积器 200
4.6.2 光学图像的扫描 202
4.6.3 声表面波存储器 203
§4.7 其它的声表面波器件 203
4.7.1 表面波声光器件 203
4.7.2 在声摄像装置中的应用 204
参考文献 208