目录 1
第一章 绪论 1
§1-1 探针技术概述 1
1 发展简史 1
2 发展方向 4
§1-2 探针技术的特点 5
1 接触式测量与非接触式测量 5
2 常用的接触式测量方法 7
§1-3 探针技术的分类 9
§1-4 探针技术的发展和应用 11
1 探针法用于等离子体诊断的发展概况 11
2 探针法用于燃烧测量的发展概况 13
3 传热中的探针法测量的发展概况 15
参考文献 15
第二章 等离子体诊断用探针技术 19
§2-1 概述 19
§2-2 探针理论基础 20
1 电探针的理论基础——电离气体动力论 21
2 磁探针的理论基础——电磁感应原理和霍尔（Hall）效应 30
§2-3 电探针 33
1 引言 33
2 单探针 33
3 双探针 42
4 三探针 49
5 复杂等离子体条件下的探针 54
6 电探针的实验技术 61
7 电探针和等离子体的相互作用 77
§2-4 磁探针 85
1 引言 85
3 感应探针 90
4 磁场电效应探针 91
5 用于高频等离子体诊断的磁探针 92
2 磁探针的基本特性 96
6 用于相位测量的双磁探针 97
7 磁探针和等离子体的相互作用 100
1干扰的来源 101
§2-5 抗干扰措施 101
2克服干扰的措施 102
§2-6 电探针的应用 106
1 概述 106
2 在溅射镀膜工艺中的应用 115
3 在等离子体刻蚀中的应用 144
参考文献 148
§3-1 概述 153
第三章 燃烧测量用探针技术 153
§3-2 层流燃烧测量的探针技术 155
1 引言 155
2 用于火焰测量的速度探针 156
3 浓度探针 172
4 温度探针 184
5 火焰中电探针的应用 195
§3-3 湍流燃烧测量用的探针技术 197
1 引言 197
2 探针的干扰 199
3 探针的采样 200
4 湍流量的测量 205
参考文献 205
第四章 传热测量用探针技术 207
§4-1 概述 207
§4-2 量热探针技术 208
§4-3 带有冷却装置的电探针 218
§4-4 热流探针 231
§4-5 动态压力探针 233
§4-6 间歇温度探针 234
§4-7 辐射探针 238
参考文献 240
第五章 特殊探针和新型探针 242
§5-1 概述 242
§5-2 发射探针 243
§5-3 等离子体聚合用探针 248
§5-4 无扫描探针 252
§5-5 共振探针 255
参考文献 256