目录 1
前言 1
X射线貌相术在半导体晶体和器件研究上的应用 4
使用由弯曲晶体造成单色发散线束的X射线衍射貌相术的新方法 57
利用平行X射线束改善晶体莫尔条纹的可见度 63
扫描X射线貌相术的反馈控制方案 71
Lang貌相术的电-机械反馈控制 78
X射线像的电视显示 I.X射线貌相图 80
无位错硅中的空位团 94
半导体器件工艺中的硅材料问题 97
用X射线貌相术作工艺进程中硅内结构缺陷的测量 123
磷进入硅中的反常扩散 135
外延生长GaAs中的位错和界面上的面缺陷 144
外延磁泡畴柘榴石的X射线双晶貌相术 151
X射线貌相术在研究磁畴中的应用 158
铌酸锂单晶的X射线貌相研究 169
铝中位错的形成和运动的X射线貌相术研究 177
人造石英中位错的X射线貌相研究 182