目录 1
第一章 真空技术基础知识 1
一、真空的基本概念 1
二、真空泵 12
三、真空测量 26
第二章 等离子体物理基础及等离子渗氮原理 42
一、等离子体的物理概念及分类 42
二、等离子体中的反应 48
三、气体放电的伏安特性曲线 51
四、辉光放电 54
五、弧光放电 62
六、高频放电 67
七、离子轰击阴极表面的物理、化学效应 70
八、离子渗氮原理 73
九、离子渗氮的主要特点 90
第三章 离子渗氮设备 94
一、设备的组成、种类及技术条件 94
二、电器系统 96
三、真空炉体 124
四、供气和抽气系统 130
五、离子渗氮工艺参数的微处理机控制 136
六、离子渗氮设备的维护及故障排除 143
第四章 离子渗氮工艺及操作 146
一、离子渗氮工艺参数的选择 146
二、离子渗氮材料的选择 165
三、离子渗氮工艺过程及操作 180
四、常见故障及排除 192
第五章 离子渗氮层的组织、性能及检验 201
一、渗氮层的组织 201
二、渗氮层的氮浓度 213
三、渗氮层的厚度 217
四、渗氮层的性能 220
五、离子渗氮层的质量检验 245
第六章 离子渗氮的应用 253
一、挤压机螺杆 259
二、缸套的离子渗氮 261
三、曲轴 265
四、齿轮 272
五、精密丝杠 285
六、镗杆和主轴 289
七、深孔渗氮 290
八、钛和钛合金零件 294
九、工模具 295
十、其它 303
第七章 等离子化学热处理的其它应用 306
一、低温等离子多元共渗 306
二、等离子渗碳及碳氮共渗 318
三、离子渗金属 333
第八章 等离子体气相沉积及离子注入技术简介 350
一、等离子体物理气相沉积（PVD） 350
二、等离子体增强化学气相沉积（PCVD） 373
三、离子束轰击技术在材料科学中的应用 388