绪论 1
Ⅰ 真空测量 5
1 真空测量概述 5
1.1 真空度的表征、单位和真空区域划分 5
1.2 真空计分类 7
1.3 真空计测量范围 8
1.4 真空测量特点和真空计选择原则 9
2 液位式真空计 11
2.1 U型管真空计 11
2.2 压缩式真空计 13
3.1 热传导真空计的工作原理 20
3 热传导真空计 20
3.2 热传导真空计的测量范围 22
3.3 电阻真空计 24
3.4 热偶真空计 27
3.5 已知混合气体成分真空度的测量 30
3.6 热传导真空计的优缺点 30
4 热阴极电离真空计 31
4.1 热阴极电离真空计的工作原理 31
4.2 普通型热阴极电离真空计 32
4.3 热阴极电离真空计的性能及使用 33
4.4 热阴极电离真空计的测量电路 37
4.5 高压力热阴极电离真空计 41
4.6 超高真空热阴极电离真空计 45
5 冷阴极电离真空计 54
5.1 普通型磁放电真空计 54
5.2 倒置磁控管式真空计 57
5.3 正磁控管式真空计 59
6 其它真空计 61
6.1 弹性元件真空计 61
6.2 电容式薄膜真空计 62
6.3 振膜真空计 64
6.4 放射性电离真空计 66
6.5 磁悬浮转子真空计 67
7 分压力测量和残余气体分析 70
7.1 概述 70
7.2 四极滤质器 74
7.3 其它质谱计 83
7.4 识谱技术 85
8 真空计校准 94
8.1 概述 94
8.2 静态膨胀法 97
8.3 动态流导法 100
8.4 标准压缩式真空计 102
8.5 副标准真空计 105
9 真空测量技术 106
9.1 气体种类对真空测量的影响 106
9.2 测量系统对被测系统的影响 107
9.3 真空计规管安装位置和方法 109
9.4 非均匀环境中的压力测量 111
9.5 特殊条件下的真空测量 111
Ⅱ 检漏 113
10 检漏概述 113
10.1 漏气判断和漏孔表示法 113
10.2 漏孔气流特性 114
10.3 最大允许漏率的估算 115
10.4 检漏方法分类 116
10.5 对检漏方法的要求及选择 117
10.6 检漏技术中的几个概念 119
11 检漏方法的基本原理 120
11.1 真空检漏法 120
11.2 充压检漏法 127
11.3 背压检漏法 128
12 各种检漏方法 133
12.1 静态升压法 133
12.2 气泡检漏法 134
12.3 氨气检漏法 136
12.4 真空计检漏法 138
12.5 离子泵检漏法 139
12.6 其它检漏方法 141
13 氦质谱检漏仪 145
13.1 氦质谱检漏仪的工作原理 145
13.2 氦质谱检漏仪结构 147
13.3 探索气体 150
13.4 氦质谱检漏仪的灵敏度及其校准 151
13.5 氦质谱检漏仪的使用 153
13.6 测量漏率时的误差来源 162
14 其它检漏仪 163
14.1 高频火花检漏仪 163
14.2 卤素检漏仪 165
14.3 气敏半导体检漏仪 168
15 标准漏孔 171
15.1 常用的标准漏孔 171
15.2 标准漏孔的校准 173
15.3 使用标准漏孔的注意事项 177
习题 178
参考文献 183