1.1 真空及其特点 1
1.2真空泵性能的表示法 1
1 引论 1
1.3真空泵的分类 3
1.4真空泵的技术术语、用途和使用范围 4
1.5真空泵的型号及规格表示法 5
2液环式真空泵 8
2.1 液环泵的工作原理及特点 8
2.2液环泵的基本类型与结构 9
2.3液环泵的设计计算 11
2.4液环泵的计算实例 19
2.5液环泵的使用与注意事项 20
3.2往复泵的结构和工作原理 22
3.3往复泵的主要性能参数 22
3往复式真空泵 22
3.1 概述 22
3.4往复泵气阀的设计 27
3.5往复泵设计中的几个问题 31
4旋片式油封机械泵 35
4.1 概述 35
4.2旋片泵的工作原理与结构特点 35
4.3性能参数及主要几何尺寸的确定 39
4.4气镇量的计算 44
4.5旋片泵的运行和维护 46
5.1 概述 49
5.2滑阀泵的工作原理和结构特点 49
5滑阀式油封机械泵 49
5.3滑阀泵性能参数和主要几何尺寸的确定 52
11.5蒸汽喷射泵的设计计算 1 54
5.4滑阀泵的质量平衡与减振 54
5.5 机械泵油 55
6罗茨式真空泵 59
6.1 概述 59
6.2 罗茨泵的工作原理及其结构特点 59
6.3 罗茨泵的主要参数确定 63
6.4 罗茨泵的转子型线 71
6.5抽气速率的计算方法 75
6.6 罗茨泵的主要尺寸的确定 80
6.7罗茨泵的计算举例 81
7.1 概述 85
7爪式真空泵 85
7.2爪式泵的工作原理 86
7.3爪式泵转子的理论型线 87
7.4爪式泵几何抽速的计算 90
7.5爪型转子质心的计算 94
7.6爪式泵的性能及结构特点 95
7.7爪式泵的特点 96
8涡旋式真空泵 99
8.1 概论 99
8.2涡旋泵的工作原理 99
8.3涡旋泵抽气性能的计算 100
8.4密封部位的泄漏量 108
8.5涡旋泵的主要性能参数 111
9分子真空泵 113
9.1 概述 113
9.2牵引分子泵的抽气原理与结构特点 114
9.3多槽螺旋式牵引分子泵的设计原理 117
9.4涡轮分子泵的抽气原理及结构特点 124
9.5涡轮分子泵抽气性能的计算 133
10水喷射泵 141
10.1 概述 141
10.2水喷射泵的工作原理与结构 141
10.3水喷射泵的设计与计算方法 143
10.4水喷射泵的安装形式 145
11.2蒸汽喷射泵的工作原理 146
11.1 概述 146
11蒸汽喷射泵 146
11.3蒸汽喷射泵的结构与组成 149
11.4蒸汽喷射泵的安装形式 153
11.6蒸汽喷射泵抽气时间的计算 162
12油扩散泵 163
12.1 概述 163
12.2油扩散泵的工作原理 163
12.3油扩散泵的结构特点 165
12.4油扩散泵的性能参数 169
12.5扩散泵油的特性及返油 170
12.6扩散泵系统使用中的故障分析及处理 172
13.1概述 174
13.2油扩散喷射泵的工作原理与结构特点 174
13油扩散喷射泵 174
13.3油扩散喷射泵的抽气特性 178
13.4增压泵油及降低返油的措施 180
14低温泵 181
14.1概述 181
1 4.2低温泵的抽气原理和分类 181
14.3低温泵的抽速 183
14.4低温泵的极限压力 186
14.5低温泵的其他参数 188
14.6现代低温泵的结构及设计 190
15溅射离子泵 199
15.1概述 199
15.2溅射离子泵的工作原理 199
15.3溅射离子泵的设计 201
15.4溅射离子泵的使用与维护 210
16其他类型真空泵 212
16.1分子筛吸附泵 212
16.2钛升华泵 216
16.3电离升华泵 220
16.4非蒸散型吸气泵 222
17真空泵流量的测量方法 228
17.1流量喷嘴法 228
1 7.2转子流量计法 231
17.3定容法 232
1 7.4定压法 232
17.5压差法 234
参考文献 236