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一 概述 1
二 技术要求 1
(一)Y轴 1
(二)X轴 1
目录 1
三 检定条件 2
(一)检定环境条件 2
(二)检定用设备 2
(四)校准信号 2
(三)触发(同步)频率范围及触发灵敏度 2
四 检定项目及检定方法 4
(一)外观和电性能检查 4
(二)触发特性的检查 5
(三)校准信号的检定 8
(四)X轴系统的检定 10
(五)Y轴系统的检定 17
五 检定结果处理及检定周期 21
附录1 说明 22
附录2 检定证书格式 23