第1单元 集成电路基础 3
1.1 集成电路概述 3
1.1.1 晶体管和集成电路的发明 3
1.1.2 集成电路的发展与动力 3
1.1.3 集成电路的产品族分类 5
1.2 集成电路产业链 8
1.2.1 集成电路设计业 8
1.2.2 集成电路芯片制造业 11
1.2.3 集成电路封装业 12
1.2.4 集成电路测试业 13
单元测试题 15
单元测试题答案 18
第2单元 集成电路晶圆测试基础 21
2.1 硅片 21
2.1.1 硅片制备与检测 21
2.1.2 半导体材料与特性 24
2.2 晶圆 27
2.2.1 晶圆的表形构成 27
2.2.2 晶体管基本原理和结构 29
2.2.3 集成电路基本原理和结构 36
2.3 晶圆测试项目 65
2.3.1 性能参数测试项目 65
2.3.2 微电子测试结构图 66
2.4 晶圆测试设备 70
2.4.1 手动探针测试台 71
2.4.2 自动探针测试台 73
2.5 晶圆测试操作 77
2.5.1 手动探针台测试操作 78
2.5.2 自动探针台测试操作 79
单元测试题 81
单元测试题答案 87
第3单元 集成电路成品测试基础 91
3.1 集成电路封装体 91
3.1.1 集成电路的封装形式 91
3.1.2 集成电路封装外引脚 95
3.1.3 半导体集成电路型号命名 97
3.2 成品测试基础 99
3.2.1 测试基本问题 99
3.2.2 测试主要项目 104
3.2.3 测试基本方法 106
3.2.4 集成电路自动测试平台简介 108
3.3 自动测试设备（Advantest公司的专供资料） 108
3.3.1 ATE的基本组成 108
3.3.2 ATE的基本操作 113
3.3.3 软件调试工具的初步使用 115
3.4 自动分选机 121
3.4.1 自动分选机的基本组成 122
3.4.2 自动分选机的基本操作 124
3.5 成品测试实例 125
3.5.1 成品测试前准备工作 125
3.5.2 成品测试步骤 129
单元测试题 131
单元测试题答案 134
知识考核模拟试卷 137
知识考核模拟试卷答案 141
技能考核模拟试卷 142
技能考核模拟试卷评分表与答案 143
索引——汉英术语对照 145