《微传感器、微机电系统和灵巧器件》PDF下载

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  • 作  者:加德纳(Gardner,J.W.),瓦拉旦(Varadan,V.K.),韦德尔卡姆(Wadelkarim,O.A.)著
  • 出 版 社:清华大学出版社
  • 出版年份:2004
  • ISBN:7302081220
  • 页数:505 页
图书介绍:微传感器、微机电系统(MEMS,micro-electro-mechanical systems)正在对半导体工业产生革命性的作用。微系统(system-on-a-chip)将微电子电路和微执行器结合在一起,形成有广泛应用领域的新的研究热点。本书系统介绍了微传感器技术,并将微传感器、微机电系统和灵巧器件有机结合起来,内容丰富新颖。本书适合微电子领域的高年级学生和研究人员、微传感器系统方面的工程师和开发人员阅读,对于机械、物理和材料方面的科研人员也很有参考价值。

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