第1章 绪论 1
1.1 传感器的概念 1
1.1.1 传感器的基本组成 1
1.1.2 传感器的定义 2
1.2 传感器的分类 2
1.3 传感器的基本特性 3
1.3.1 传感器的静态特性 4
1.3.2 传感器的动态特性相关的数学模型 11
1.3.3 传感器的动态特性描述 15
1.4 传感器的标定 20
1.4.1 传感器的静态特性标定 21
1.4.2 传感器的动态标定 21
1.5 传感器技术发展方向 23
习题 25
第2章 传感器的功能材料及加工工艺 27
2.1 传感器使用的材料 27
2.1.1 导体、半导体和电介质 28
2.1.2 有机高分子敏感材料 30
2.1.3 磁性材料 30
2.2 传感器的加工工艺 31
2.2.1 结构型传感器的加工工艺 31
2.2.2 微机械加工工艺 32
习题 40
第3章 温敏传感器 41
3.1 热学相关基本概念 41
3.1.1 温标 41
3.1.2 热力学相关概念 41
3.1.3 温敏传感器的分类 42
3.2 热电偶传感器 42
3.2.1 热电效应 42
3.2.2 热电偶基本定律 44
3.2.3 热电偶的结构 45
3.2.4 热电偶冷端温度误差及其补偿 46
3.2.5 热电偶实用测量电路 49
3.2.6 热电偶传感器应用实例 50
3.3 电阻型温度传感器 52
3.3.1 热电阻 52
3.3.2 热敏电阻 55
3.3.3 陶瓷半导体热敏电阻 57
3.3.4 半导体热电阻温度传感器 61
3.3.5 热敏电阻温度传感器的典型应用 63
3.4 半导体PN结型温度传感器 64
3.4.1 温敏二极管 64
3.4.2 温敏晶闸管（可控硅） 66
3.4.3 温敏三极管 68
3.4.4 半导体PN结型温度传感器典型应用 70
习题 71
第4章 力敏传感器 73
4.1 应变式电阻传感器 73
4.1.1 电阻应变片的种类 73
4.1.2 金属电阻应变片 73
4.1.3 半导体应变片 78
4.1.4 电阻应变片的测量电路 79
4.1.5 电阻应变式传感器的应用 83
4.2 压电式力传感器 88
4.2.1 压电效应和压电材料 88
4.2.2 压电传感器的等效电路与测量线路 91
4.2.3 压电式传感器的应用举例 95
4.2.4 压电式传感器的主要性能及其影响因素 97
4.3 电容式力传感器 99
4.3.1 电容式传感器的特点 99
4.3.2 电容式压力传感器 100
4.4 电感式压力传感器 102
4.5 谐振式压力传感器 104
4.5.1 工作原理和特性 104
4.5.2 谐振式压力传感器的特性 104
4.5.3 谐振式压力传感器的类型 106
4.6 光纤力学传感器 108
4.7 其他新型传感器 110
习题 112
第5章 磁敏传感器 113
5.1 概述 113
5.2 霍尔元件 114
5.2.1 霍尔效应 115
5.2.2 影响霍尔效应的因素 116
5.2.3 霍尔元件基本结构 117
5.2.4 霍尔元件的基本特性 117
5.2.5 霍尔元件的电磁特性 118
5.2.6 霍尔元件不等位电势补偿 120
5.2.7 霍尔元件温度补偿 120
5.2.8 霍尔式传感器的应用 123
5.3 半导体磁阻器件 124
5.3.1 磁阻效应 124
5.3.2 磁阻元件 126
5.3.3 磁敏电阻的应用 127
5.4 结型磁敏器件 128
5.4.1 磁敏二极管 128
5.4.2 磁敏三极管 132
5.5 铁磁性金属薄膜磁阻元件 136
5.5.1 铁磁体中的磁阻效应 136
5.5.2 铁磁薄膜磁敏电阻的结构与工作原理 136
5.5.3 铁磁薄膜磁敏电阻的技术性能及特点 136
5.6 压磁式传感器 137
5.6.1 压磁式传感器的基本原理 137
5.6.2 压磁式传感器的主要特性 138
5.6.3 压磁式传感器的应用举例 139
5.7 新型磁敏传感器 139
5.7.1 MOS磁敏器件 139
5.7.2 高分辨率磁性旋转编码器 140
5.7.3 涡流传感器 141
5.7.4 韦根德磁敏器件 141
5.7.5 磁通门传感器 142
习题 143
第6章 光敏传感器 144
6.1 概述 144
6.1.1 光谱 144
6.1.2 光学传感器的相关计量单位 145
6.1.3 光源 146
6.2 光电效应传感器 148
6.2.1 外光电效应及器件 148
6.2.2 内光电效应（光电导）及器件 153
6.3 光生伏特效应器件 157
6.3.1 光生伏特效应 157
6.3.2 光电池 158
6.4 光敏二极管 159
6.4.1 结构原理 159
6.4.2 光电二极管应用实例 161
6.5 光敏晶体管 162
6.5.1 光敏晶体管和光敏二极管基本特性 163
6.5.2 光敏三极管应用实例 164
6.6 色敏光电传感器 165
6.6.1 双结型色彩传感器 165
6.6.2 非晶态集成色彩传感器 165
6.6.3 应用实例 166
6.7 光电耦合器件 167
6.7.1 光电耦合器 167
6.7.2 光电开关 167
6.8 热释电红外光敏器件 168
6.8.1 热释电红外光敏效应 168
6.8.2 热释电传感器的结构 169
6.8.3 热释电红外传感器的应用 170
6.9 固态图像传感器 173
6.9.1 CCD图像传感器 173
6.9.2 MOS固态图像传感器 176
6.9.3 CCD与CMOS图像传感器的性能比较 178
6.10 光纤传感器 179
6.10.1 概述 179
6.10.2 光纤的结构和传输原理 180
6.10.3 光纤传感器 181
习题 185
第7章 声敏传感器 186
7.1 声波的基本性质 186
7.1.1 声压及其描述 186
7.1.2 声功率和声强 187
7.1.3 声波的反射、折射、透射和吸收 188
7.2 声敏传感器 190
7.2.1 电阻变换型声敏传感器 190
7.2.2 压电声敏传感器 191
7.2.3 电容式声敏传感器（静电型） 191
7.2.4 音响传感器 192
7.3 水声传感器 194
7.3.1 水声传感器的性能指标 194
7.3.2 水声传感器用郎之万型换能器 196
7.3.3 海底地貌仪 197
7.3.4 多普勒计程仪 198
7.3.5 相关计程仪 198
7.4 超声波传感器 199
7.4.1 超声波及其物理性质 199
7.4.2 超声波对超声场产生的作用（效应） 200
7.4.3 超声波传感器概述 201
7.4.4 超声波传感器的应用 201
7.5 表面声波传感器 204
7.5.1 表面声波的类型 205
7.5.2 SAW传感器的结构与工作原理 209
7.5.3 高分辨率SAW温度传感器 210
7.5.4 SAW气敏传感器 211
7.5.5 SAW压力传感器 212
7.5.6 声板波传感器 213
习题 215
第8章 气敏传感器 216
8.1 概述 216
8.2 气敏传感器的主要参数与特性 216
8.3 半导体气敏传感器 218
8.3.1 电阻型半导体气敏元件 218
8.3.2 半导体气敏二极管和MOSFET气敏传感器 228
8.4 固态电解质气敏传感器 232
8.5 接触燃烧式气敏传感器 234
8.5.1 检测原理与结构 234
8.5.2 气敏特性 235
8.6 新型气敏传感器 236
8.6.1 红外吸收式传感器 236
8.6.2 热导率变化式气敏传感器 236
8.6.3 气敏半导体材料吸附机制及器件 236
8.6.4 气-磁传感器 237
8.7 气敏传感器的应用 238
8.7.1 家用煤气、液化石油气泄漏报警器 238
8.7.2 自动换气扇 238
8.7.3 自动抽油烟机 239
8.7.4 酒精检测报警器 239
8.7.5 缺氧检测 240
习题 241
第9章 湿敏传感器 242
9.1 湿度的基本概念 242
9.1.1 相对湿度和绝对湿度 242
9.1.2 露点 242
9.2 湿度传感器的特性参数 243
9.3 湿度传感器的分类 246
9.4 陶瓷式湿度传感器 246
9.4.1 陶瓷电阻式湿度传感器 246
9.4.2 陶瓷电容式湿度传感器 248
9.5 有机物及高分子聚合物湿度传感器 249
9.5.1 高分子电阻式湿度传感器 249
9.5.2 高分子电容式湿度传感器 251
9.6 半导体结型和MOS型湿度传感器 253
9.6.1 湿敏二极管 254
9.6.2 湿敏MOS场效应管 254
9.7 固体电解质界限电流式高温湿度传感器 255
9.7.1 固体电解质界限电流式湿度传感器的结构与工作原理 255
9.7.2 固体电解质界限电流式湿度传感器的特性 256
9.8 溶性电解质湿度传感器 257
习题 259
第10章 生物传感器 260
10.1 生物传感器的基本概念 260
10.2 生物传感器的特点 261
10.3 生物反应基本知识 261
10.3.1 酶反应 261
10.3.2 微生物反应 263
10.3.3 免疫学反应 264
10.3.4 生物传感器膜技术和固定化技术 265
10.3.5 基本电极 268
10.3.6 测量方式 268
10.4 生物传感器的工作原理及类型 269
10.4.1 酶传感器及其应用 269
10.4.2 微生物传感器及其应用 270
10.4.3 免疫传感器及其应用 270
10.4.4 半导体生物传感器及其应用 271
10.4.5 组织传感器 271
10.4.6 细胞传感器 273
10.4.7 基因芯片 274
习题 275
第11章 传感器的信号处理 276
11.1 信号测量电路 276
11.1.1 桥电路 276
11.1.2 电阻测量 285
11.1.3 电感测量 286
11.1.4 电容测量及电容检测电路 287
11.2 信号变换电路 295
11.2.1 电压—电流变换 296
11.2.2 电流—电压变换 299
11.3 阻抗匹配器／信号放大电路 301
11.3.1 晶体管阻抗匹配器 301
11.3.2 场效应管阻抗匹配器 302
11.3.3 运算放大器阻抗匹配器／信号放大电路 303
11.4 信号分离／滤波电路 306
11.4.1 滤波器的基本知识 306
11.4.2 按频带分类的滤波器 308
11.4.3 按逼近方式分类的滤波器 312
11.4.4 按电路组成分类的滤波器 312
习题 314
第12章 传感器的智能化和网络化 315
12.1 智能传感器 315
12.1.1 智能传感器的结构 315
12.1.2 智能传感器的功能 315
12.2 智能传感器的网络化 317
12.2.1 现场总线智能传感器 317
12.2.2 基于TCP/IP协议的网络化智能传感器 320
12.3 无线传感器网络概述 321
12.3.1 无线传感器网络的基本概念 321
12.3.2 无线传感器网络的特征 322
12.3.3 无线传感器网络的发展 324
12.3.4 无线传感器网络的应用 325
12.3.5 无线传感器网络所面临的挑战 326
12.3.6 无线传感器网络的体系结构 327
12.3.7 无线传感器网络的系统结构 327
12.3.8 无线传感器网络体系结构的设计要求 329
12.3.9 无线传感器网络的关键技术 332
习题 338
参考文献 339