第1章 仪器精度理论概述 1
1.1 仪器精度理论研究的意义与内容 1
1.2 我国仪器精度理论的发展状况 8
1.3 仪器误差的来源 9
1.4 提高仪器精度的途径与方法 11
复习思考题 11
第2章 仪器静态特性与基本精度理论 12
2.1 概率论及数理统计基础 12
2.2 测量不确定度基本概念 14
2.3 不确定度的评定与合成 16
2.4 系统静态特性与精度方程 18
复习思考题 21
第3章 仪器原理误差 23
3.1 仪器原理误差及其计算方法 23
3.2 避免和减小原理误差的方法 27
3.3 叶片厚度仪的原理误差分析 30
复习思考题 34
第4章 仪器工艺误差 35
4.1 仪器工艺误差概述 35
4.2 仪器工艺误差的模型分析方法 36
4.3 直线度测量平差 47
复习思考题 68
第5章 仪器受力作用误差 69
5.1 仪器的受力种类 69
5.2 计算受力作用误差的方法 72
5.3 减小受力作用误差的方法 76
复习思考题 80
第6章 误差分离技术与补偿技术 82
6.1 圆度仪主轴径向误差的分离技术 82
6.2 圆柱度仪导轨与轴线误差分离技术 85
6.3 直线基准误差分离技术 88
6.4 气体静压轴系的误差均化机理 90
6.5 转矩仪直流漂移误差信号的补偿 97
复习思考题 99
第7章 实验室环境控制技术 100
7.1 需要控制的环境因子 100
7.2 超净环境技术 101
7.3 恒温、恒湿技术 108
7.4 超精密隔振技术 110
复习思考题 138
参考文献 139