第一章 绪论 1
1.1 课题背景 1
1.2 微细加工技术 1
1.2.1 硅微细加工技术 1
1.2.2 LIGA和准LIGA技术 2
1.2.3 微细机械加工技术 3
1.2.4 微细电解加工技术 4
1.2.5 微细电火花加工技术 5
1.2.6 激光微细加工技术 6
1.3 微小群孔结构及其加工方法 7
1.3.1 微小群孔结构的特点及应用 7
1.3.2 微小群孔结构的加工方法 8
1.4 课题的研究意义及主要内容 11
1.4.1 课题的研究目的及意义 11
1.4.2 课题的主要研究内容 12
第二章 活动模板电解加工理论基础 13
2.1 电解加工基础理论 13
2.1.1 法拉第定律 13
2.1.2 电极／溶液界面双电层 14
2.1.3 阳极极化 15
2.2 电解加工工艺原理及特点 16
2.2.1 电解加工电化学原理 16
2.2.2 电解加工的特点 17
2.3 阴极活动模板双面电解加工机理 18
2.3.1 阴极活动模板双面电解加工机理 18
2.3.2 影响阴极活动模板电解加工精度的因素 19
2.4 电解加工有限元电场分析 21
2.5 本章小结 24
第三章 活动模板电解加工工艺系统 25
3.1 电解加工装备 25
3.1.1 电解加工机床 25
3.1.2 电解加工电源 26
3.1.2.1 直流电源 26
3.1.2.2 斩波器 26
3.1.3 电解液循环系统 28
3.1.3.1 电解液系统 28
3.1.3.2 冲液方式设计 30
3.1.3.3 电解液流速和冲液压力的确定 31
3.1.3.4 电解液选择 33
3.2 电解夹具设计 34
3.3 阴极模板制作 35
3.3.1 模板材料 35
3.3.2 阴极模板制作 36
3.4 本章小结 37
第四章 多孔径微小群孔电解加工工艺研究 39
4.1 群孔加工试验介绍及分析 39
4.1.1 衡量群孔加工质量的标准 39
4.1.2 单面加工与双面加工方法的比较 40
4.2 多孔径微小群孔电解加工试验及分析 41
4.2.1 试验介绍 41
4.2.2 夹具状态对加工结果的影响 42
4.2.2.1 夹紧凸起间距对加工结果的影响 42
4.2.2.2 流道深度对加工结果的影响 44
4.2.3 绝缘层厚度对加工结果的影响 47
4.2.4 占空比对加工结果的影响 50
4.2.5 电解液压力对加工结果的影响 52
4.3 弹性夹紧状态多孔径微小群孔加工 54
4.4 本章小结 55
第五章 总结与展望 56
5.1 本文的主要结论 56
5.2 对本课题研究的展望 56
参考文献 58
致谢 61
攻读学位期间发表的学术论文 62