《“水-氨”喷射器制冷用于硅烷法制造多晶硅》PDF下载

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  • 出 版 社:北京:机械工业出版社
  • 出版年份:1971
  • ISBN:15033·(内)414
  • 页数:12 页
图书介绍:

“水—氨”喷射器制冷用于硅烷法制造多晶硅 湘潭纺织印染厂 1

一、硅烷法生产工艺简介 3

二、“水—氨”喷射器制冷 3

三、存在问题与几点看法 9