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《“水-氨”喷射器制冷用于硅烷法制造多晶硅》PDF下载
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作 者:
出 版 社:北京:机械工业出版社
出版年份:1971
ISBN:15033·(内)414
页数:12 页
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“水—氨”喷射器制冷用于硅烷法制造多晶硅 湘潭纺织印染厂 1
一、硅烷法生产工艺简介 3
二、“水—氨”喷射器制冷 3
三、存在问题与几点看法 9