DY—3电子束曝光机电子光学设计和初步调试 1
电子束投影曝光系统中聚焦磁场不均匀性引起畸变的理论分析 13
半导体背散射电子检测器实验研究 27
内径60cm充蜡分层超导螺管的实验研究 36
超导磁体交流损耗的测量 42
铁屏超导螺管的实验研究 48
SD0.2/50型低真空电子束焊机真空室的研制 59
焊接用电子枪在不同参数要求下的适应性问题研究 66
晶片离子注入后的扫描散焦电子束退火研究 73
二氧化硅的离子束曝光特性 81
速率乘法的舍入处理及其多次运算的积累误差计算 86
PDH绘图仪的控制器 100
超导材料临界电流微处理机测量系统 114
逆变器馈电实心转子永磁同步电动机的研究 121
通用型步进电机斩波驱动电路 133
燃油磁流体发电燃烧室二氧化锆内衬材料的试验研究及结果 144
5KW太阳能热力水泵试验系统初步计算分析 151