3in,100mm,125mm,150mm塑料和金属硅片盒 1
标准 1
中文版前言 7
3in塑料和金属硅片盒，通用型 9
标准 9
100mm塑料和金属硅片盒，通用型 11
标准 11
标准 13
125mm塑料和金属硅片盒，通用型 13
125mm塑料和金属硅片盒，自动输送使用 15
标准 15
150mm塑料和金属硅片盒，通用型 18
标准 18
125mm和150mm石英与高温硅片盒 20
标准 20
前言 21
出版物订购单 23
SEMI通信 25
标准 26
125mm和150mm石英与高温硅片盒 26
组织机构图解 28
200mm石英与高温晶片盒 31
标准 31
委员会介绍 31
国际标准委员会 35
设施接口规范的格式 36
地区标准委员会 36
地区委员会一览表 41
规范 62
电气接口 62
硅片传送系统：接口的坐标系 67
规范 67
设备的可靠性，可用性及维修性的定义和测量 70
指南 70
125mm和150mm塑料和金属晶片盒的应用 78
SEMI指南 78
用以表达质量流计与质量流控制器的容积流速的标准温度与压力的定义（推荐） 83
2．模型格式 84
1．引言 84
关于影响产品质量的工艺或支撑（配套）设备中微粒污染的测量 84
SEMI E7— 84
1．范围 85
2．选择的定义 85
3．尺寸定义 85
SEMI E6— 85
SEMI E1.3— 86
SEMI E1.5— 86
SEMI E1.4— 86
SEMI E1— 86
1．前言 86
SEMI E12— 86
4．晶片盒应用 86
SEMI E8— 86
SEMI E1.2— 86
3．选择的定义 86
2．适用文件 86
1．范围 86
SEMI E2.2— 86
2．选择的定义 86
SEMI E1.1— 86
5．其他参考文献 86
4．导线与电缆 86
3．电气接插件 86
2．供电类别 86
1．引言 86
SEMI E2— 86
1．范围 86
2．选择的定义 86
3．尺寸定义 86
SEMI E2.1— 86
1．范围 86
2．选择的定义 86
3．尺寸定义 86
4．可靠性、可用性、维修性的测定 89
SEMI E11— 89
3．设备的状态 89
2．选择的定义 89
1．范围 89
SEMI E16— 90
4．要求 90
3．选择的定义 90
2．适用文件 90
1．前言 90
SEMI E15— 90
附录D 90
附录C 环境指南 90
附录B 加工设备污染测量流程图 90
附录A 数据收集表 90
5．表面微粒污染的测量 90
4．定义 90
3．目标 90
2．范围 90
1．引言 90
1．引言 90
SEMI E14— 90
1．引言 90
2．定义 90
3．实际要求 90
SEMI E10— 90
规范 102
设备之间材料传送接口的规范 102
指南 110
确定和叙述质量流控制器泄漏 110