目次 1
熊猫系统——超大规模集成电路CAD系统 1
VENUS实用化 6
VLSI布图系统实用化及其工艺数据库 8
集成电路逆向剖析系统ICRES-Ⅱ 10
计算机辅助大规模集成电路仿制设计系统 12
大规模集成电路芯片版图识别系统 14
硅编译方法研究 15
微波、功率集成电路计算机辅助设计 18
集成电路测试程序库 21
集成电路计算机辅助测试系统研究 23
测试方法研究及应用 25
大规模集成电路测试方法与应用 28
微处理器功能测试方法及门阵列可测试性研究与应用 30
模拟电路直流中测方法研究及应用 32
在线检测仪器的研制并实用化及数据采集 34
集成电路计算机辅助制造技术研究 37
1-1.5微米CMOS VLSI工艺技术开发 40
1兆位汉字库只读存储器的研制 42
2-3微米CMOS工艺优化 45
3微米CMOS工艺优化 47
ECL 600门阵列电路及3微米双极工艺优化 51
5微米双极工艺优化及推广 54
5微米CMOS工艺优化与普及推广 59
5微米双极工艺优化 62
高密度载体外壳和LCC、PGA（44—132pin）新型封装系列开发 65
优化过程中的材料，工艺缺陷分析 68
微细加工技术研究 71
16位微机配套电路 74
88毫米20兆温盘驱动器配套专用电路 76
132毫米40兆温盘驱动器配套专用电路 78
数控机床配套专用电路 81
数控机床配套专用电路（控制、驱动IC） 83
机床数显专用大规模集成电路 85
移动通讯专用大规模集成电路 86
电荷耦合器件（CCD）摄像电路 88
电话机专用电路 90
录像机配套系列电路开发 92
局用万门程控交换机专用电路 96
收录机电路 98
电子玩具系列电路 100
电子钟表电路 103
KW1871无线电控制编码器／发射器、KW1872无线电控制接收器／译码器 104
电阻网络和芯片冗余激光修正仪 107
光刻设备芯片处理系统 110
BG—101直接分步曝光机实用化 113
BKJ100—B型半自动接触／接近式光刻机 115
RHT型自动快速热处理设备 117
H46700—1型高性能多靶磁控溅射台 121
管芯划片装片焊接自动化设备 124
超纯水设备 128
ZTG—100自动投影光刻机 132
接触／接近式全自动掩模对准曝光机 134
直接分步重复投影光刻机 136
金属有机源分子束外延设备（MOMBE） 139
GaAsφ50mm工艺技术和GaAs超高速集成电路 142
微波单片集成电路及制造技术 145
HEMT高速电路和HBT高速电路 148
微波低噪声高电子迁移率晶体管（HEMT） 151
高电子迁移率晶体管集成电路（HEMT IC）用分子束外延材料 154
GaAs新器件结构及基础工艺研究 155
高压液封原位合成生长大直径半绝缘砷化镓单晶技术 158
半绝缘砷化镓中EL2与亚稳态深中心和浅杂质特性的研究 162
等电子杂质In在砷化镓中行为研究 165
GaAs中缺陷及金属半导体界面研究 167
SOI技术和三维集成电路基础研究 170
用横向外延生长技术制备SOI膜和三维集成电路的基础技术研究 172
多元逻辑高速数码乘法器电路 175
VLSI各种薄膜的基本理化性质及其应用的研究 176
VLSI中各种薄膜的栅结构界面特性的研究 180
固相反应金属硅化物TiSi2、CoSi2、PtSi薄膜技术和超薄介质膜制备技术 183
小尺寸器件性能及物理限制的研究 186
硅小尺寸器件性能及物理限制的研究 188
磁泡Bloch线存储材料及器件研究 191
磁泡布洛赫线存储功能研究 195
色敏传感器 198
LSI-CAD二级系统移植及实用化 203
大规模集成电路应用开发 204
机电仪配套专用集成电路 205
LSI新品开发—用户专用电路 208
可变矩形电子束曝光机 210
光栅扫描电子束曝光机 213
1：1扫描投影光刻机 216
强流离子注入机 217
中能量中束流离子注入机 219
微离子束对准定位系统 221
KDD—330单片自动反应离子刻蚀机 224
硅分子束外延设备 226
1—2微米专用集成电路的研究与开发 229
康发系列CAE工作站 230
HBT用的MBE AlGaAs/GaAs材料的研制 232
异质结特性及界面应力研究 235
离子注入SOI与激光再结晶SOM基础技术研究 238