第一章 概论 1
第一节 真空的基本概念 1
第二节 气体分子运动基本概念 6
第三节 气体与固体的相互作用 11
第四节 真空设备的分类 13
第二章 真空获得设备 15
第一节 机械泵 15
第二节 蒸气流泵 19
第三节 分子泵 21
第四节 吸附泵 23
第五节 钛泵 24
第六节 冷凝泵 28
第一节 绝对真空计与相对真空计 30
第三章 真空测量设备 30
第二节 热传导真空计 31
第三节 热阴极电离真空计 32
第四节 超高真空电离计 33
第五节 冷磁控超高真空计 34
第六节 其他真空计 35
第四章 检漏仪器及检漏方法 38
第一节 常用检漏方法 38
第二节 氦质谱检漏仪 39
第五章 残气分析仪器 42
第一节 回旋质谱计 42
第二节 四极滤质器 44
第三节 其他质谱计 46
第六章 真空系统及其配套设备 49
第一节 真空系统 49
第二节 真空设备 50
第七章 真空元件与材料 58
第一节 真空密封法兰 58
第二节 真空阀门 61
第三节 冷阱 62
第四节 波纹管 64
第五节 真空材料 66
附表一——二十一 69
一 常用压强单位换算表 69
二 常用物理常数表 70
三 简单几何形状管道自由分子流的流导计算公式 71
四 旋片式真空泵 72
五 直联旋片泵 73
六 其他机械真空泵 74
七 高真空油扩散泵 75
八 高真空油扩散凸腔泵 76
九 我国K系列高真空油扩散泵主要技术性能 77
十 国外部分油扩散泵型号及技术性能 78
十一 国内外立式涡轮分子泵技术指标 79
十二 部分国产热钛泵的型号及性能 80
十三 国内溅射离子钛泵型号及性能 80
十四 部分国产真空计型号及主要性能 81
十五 部分国产真空规管型号及性能 82
十六 国内外氦质谱检漏仪的主要性能 83
十七 电真空技术中常用质谱计的主要参数 84
十八 国产高真空机组的主要技术性能 85
十九 国产超高真空机组 86
二十 国产各类镀膜机 86
二十一 我国现有与真空技术有关的标准 89