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第一章 绪论 1
半导体器件可靠性研究工作发展概况 1
整机可靠性研究一例 8
第二章 晶体管基础知识 14
晶体三极管 14
MOS场效应晶体管 35
第三章 提高半导体器件可靠性的几种措施 44
MOS结构C—V法在工艺控制中的应用 44
利用栅控管及四极管研究表面对双极型晶体管性能的影响 66
其它常用测试结构 81
表面纯化 125
介质膜层部段陷的鉴定 149