第一章 精密和超精密加工技术及其发展展望 1
第一节 发展精密和超精密加工技术的重要性 1
第二节 超精密加工技术的现状 4
第三节 超精密加工技术发展展望 8
复习思考题 9
第二章 超精密切削与金刚石刀具 10
第一节 超精密切削的切削速度选择 10
第二节 超精密切削时刀具的磨损和寿命 11
第三节 超精密切削时积屑瘤的生成规律 13
第四节 切削参数变化对加工表面质量的影响 15
第五节 切削刃锋锐度对切削变形、加工表面质量的影响 18
第六节 金刚石刀具超精密切削中的若干理论问题 22
第七节 超精密切削对刀具的要求及金刚石的性能和晶体结构 28
第八节 金刚石晶体各晶面的耐磨性和好磨难磨方向 33
第九节 单晶金刚石刀具的磨损破损机理 35
第十节 金刚石晶体的定向 36
第十一节 金刚石刀具的设计与制造 39
复习思考题 45
第三章 精密磨削和超精密磨削 47
第一节 概述 47
第二节 精密磨削 52
第三节 超硬磨料砂轮磨削 56
第四节 超精密磨削 62
第五节 精密和超精密砂带磨削 67
复习思考题 76
第四章 精密和超精密加工的机床设备 77
第一节 精密和超精密机床发展概况 77
第二节 典型超精密机床的简介 80
第三节 精密主轴部件 86
第四节 机床的总体布局和床身导轨 91
第五节 进给驱动系统 98
第六节 微量进给装置 100
第七节 机床运动部件位移的激光在线检测系统 105
第八节 机床的稳定性和减振隔振 107
第九节 减少热变形和恒温控制 110
复习思考题 114
第五章 精密加工中的测量技术 115
第一节 精密测量技术概述 115
第二节 测量基准 116
第三节 直线度、平面度和垂直度的测量 118
第四节 角度和圆分度的测量 121
第五节 圆度和回转精度的测量 124
第六节 激光测量 130
第七节 自由曲面的测量 134
复习思考题 135
第六章 在线检测与误差补偿技术 137
第一节 概述 137
第二节 在线检测与误差补偿方法 143
第三节 微位移技术 149
复习思考题 156
第七章 精密研磨与抛光 158
第一节 研磨 158
第二节 抛光 160
第三节 精密研磨与抛光的主要工艺因素 162
第四节 精密研磨抛光新技术 168
第五节 曲面研磨抛光技术 170
复习思考题 173
第八章 微细加工技术 174
第一节 微细加工技术的出现 174
第二节 微细加工的概念及其特点 175
第三节 微细加工机理 177
第四节 微细加工方法 179
第五节 集成电路与印制线路板制作技术 201
复习思考题 204
第九章 精密和超精密加工的外部支撑环境 206
第一节 空气环境和热环境 206
第二节 振动环境 214
第三节 噪声环境 219
第四节 其他环境 221
第五节 精密和超精密加工的环境设施 224
复习思考题 225
第十章 纳米技术 226
第一节 纳米技术概述 226
第二节 纳米级测量和扫描探针测量技术 227
第三节 纳米级加工技术和原子操纵 232
第四节 微型机械、微型机电系统及其制造技术 239
复习思考题 248
参考文献 249